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光腔衰蕩光譜測量系統(tǒng)(ppm級超高精度反射率測量)

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光腔衰蕩光譜方法(CRDS,CavityRing-DownSpectroscopy)是一種基于高精細(xì)度諧振腔的高靈敏度探測技術(shù),主要用于測量各種反射率大于99%的超高反射率反射鏡的反射率,測量精度可達百萬分之一量級!光腔衰蕩光譜方法通過對指數(shù)型的腔內(nèi)衰蕩信號的檢測,擺脫了激光能量輸出的起伏所引起的誤差

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光腔衰蕩光譜方法(CRDS, Cavity Ring-Down Spectroscopy)是一種基于高精細(xì)度諧振腔的高靈敏度探測技術(shù),主要用于測量各種反射率大于99%的超高反射率反射鏡的反射率,測量精度可達百萬分之一量級!


光腔衰蕩光譜方法通過對指數(shù)型的腔內(nèi)衰蕩信號的檢測擺脫了激光能量輸出的起伏所引起的誤差。由兩片99.99% 反射率組成的光腔對損耗的測量精度可達ppm量級。


應(yīng)用領(lǐng)域:

高反射鍍膜層損耗的精密測量

正入射反射率R>>99%的平面或凹面光學(xué)元件的損耗測量

精度dR/R<2ppm @="" r="">99.5%

檢測用激光波長可選(如355nm…532nm…633nm…1064nm…1319nm

 

測量原理:

脈沖光或快速開關(guān)的連續(xù)光耦合進諧振腔

待測膜層在每次往返光程中經(jīng)反射產(chǎn)生損耗

的輸出信號的測量得到衰蕩數(shù)據(jù)

脈沖光往返時間已知,根據(jù)衰蕩的時間特點,得到反射率

 

技術(shù)指標(biāo):

測量反射率:    R>>99%

精度:              dR/R < 2ppm="" @="" r="">99.5%

樣品/基底要求*:  ?1”O(jiān)r 0.5”, 厚度~6mm

基底透明,后表面平面拋光

*0o正入射測量,其他要求可訂制。

供電電源:

激光器              100~240VAC, 50~60Hz

探測器              +/-9 VDC

接口:              USB 2.0

含數(shù)據(jù)采集, A-D轉(zhuǎn)換,數(shù)據(jù)處理等模塊。軟件包括反射率分析、生產(chǎn)數(shù)據(jù)錄入及處理等。


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