產(chǎn)品介紹視頻產(chǎn)品簡介明立精機的MAPS系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置

產(chǎn)品介紹視頻

產(chǎn)品簡介

明立精機的MAPS 系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。使用1 組4 個的話，對應全自由度的振動，能發(fā)揮出除振性能、制振性能、定位性能等。

產(chǎn)品特點

1. MAPS 可以消除被動除振的困難頻段的振動

2. 標準的MAPS 可除振10 噸以上的設(shè)備

3. 搭載工件等移動裝置也不會搖擺

4. MAPS 具有精確定位及精密校平性能

5. MAPS 是小型易操作的組合型系列

6. MAPS 是構(gòu)成精密設(shè)備的一個重要部分

應用領(lǐng)域

半導體制造，等

主要規(guī)格和參數(shù)表

附注