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DX-7系列晶棒及晶片角度測量儀

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產(chǎn)品簡介:DX-7系晶棒及晶片角度測量儀是雙側(cè)工作臺,可同時進(jìn)行操作,用于對晶棒及晶片的角度進(jìn)行測量。

 

DX-7系列晶棒、晶片角度測量儀參數(shù)對比表

 

型 號

DX-7B

DX-7BG

主要特點

設(shè)備構(gòu)造:設(shè)備分為落地式一體機。

外型尺寸:1132(長)×642(寬)×1200(高)mm。

 

樣式1

樣式2

樣式3

功能

可測量晶棒的端面和柱,也可以測量晶片。

帶有六方型刻度貼片板,可測量晶片端面

可測量晶片參考邊

被測晶體尺寸

2-6寸晶棒、長度L≤320mm,2-6寸晶片。

2-6寸晶棒、長度L≤100mm2-6寸晶片。

2-6寸晶片。

工作臺圖片

配套夾具

①V型夾具(測量晶棒端面時使用)

②底板(測量有參考面的晶棒端面時使用)

無需夾具

無需夾具

工作臺:以上是常見工作臺,可根據(jù)客戶需要,任選以上2種樣品臺進(jìn)行組合,也可以雙側(cè)一樣,還可以根據(jù)被測的晶體尺寸,及晶體被測方位來特殊設(shè)計。

 

設(shè)備精度

設(shè)備綜合精度為±30″

以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測量

設(shè)備綜合精度為±15

以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測量

最小讀數(shù)

10″

儀器配置

DX-7B和DX-7BG型X射線單晶定向儀由機臺、管套及各種機械附件組成的機械部分;由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風(fēng)冷電機、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。

技術(shù)指標(biāo)

(1)X射線發(fā)生器部分:

     X射線管:銅靶,風(fēng)扇冷卻,陽極接地。

 管電壓:30KVP,全壓合閘。

 管電流:0—5mA 連續(xù)可調(diào),使用2.0mA以上,有可能損壞X光管并加大輻射危害。

(2)輸入電源:單相交流220V,50Hz,整機總耗電功率不大于0.3 KW 。

(3)角度測量范圍:

     2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統(tǒng)

傳統(tǒng)放大器

新型放大器

接收系統(tǒng)

計數(shù)管計數(shù)率為104/秒

計數(shù)管計數(shù)率為108/秒

(是普通系列的1萬倍)

接收器壽命

1年

3年以上

X光管壽命

按照國家標(biāo)準(zhǔn)400小時

(X光管可以使用3-4個月)

是正常使用狀況下的2-3倍

(X光管至少可以使用一年)

X管電流強度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測量和使用效果

X光管使用2-3個月有可能出現(xiàn)多個假峰,影響準(zhǔn)確度。需要經(jīng)常更換X光管,影響生產(chǎn)效率。

可以濾掉X光管的雜峰,不存在假峰現(xiàn)象。X光管可以使用1年左右,不需要頻繁調(diào)整機器。

精度

精度±30秒(±0.008度)

精度±15秒(或±0.004度)

輻射

測量時使用 mA量越來越大,射線輻射量較大。

測量時使用 mA量小,射線輻射量較小。


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