產(chǎn)品型號(hào)

    2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

    1、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

    2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)系統(tǒng)。

    3、溫控器采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

    4、配有防腐型真空計(jì)，當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8×10E-5

          torr。

    5、迷你型浮子流量計(jì)精度為4%。

    6、配有雙級(jí)旋片機(jī)械泵（2L/s），可使石英管內(nèi)真空度達(dá)到10E-2torr。

技術(shù)參數(shù)

　感應(yīng)加熱器

    1、工作電壓：三相AC 380V 50Hz（需60A空氣開關(guān)）

    2、工作電流：7Amps-70Amps（需100A空氣開關(guān)）

    3、功率：振蕩功率30KW，輸入功率15KW

    4、輸出頻率：30KHz-110KHz

    5、占空比：80%

    6、感應(yīng)線圈：內(nèi)徑Ø220 mm，高65 mm

    7、空氣冷卻：后風(fēng)扇

　溫度控制器及熱電偶

    1、工作電壓：AC208V-240V  單相

    2、控溫精度：±3℃

    3、熱電偶：C型，外徑Ø1/4"，長10"

    4、連續(xù)工作溫度范圍：1000℃-2000℃

    5、升溫速率：4℃/s（1000℃-1200℃）、3℃/s（1200℃-1500℃）、1℃/s-2℃/s（1500℃-2000℃）

　石墨坩堝（易耗件）

    1、高純石墨坩堝：外徑Ø114mm，內(nèi)徑Ø100mm，高142mm

    2、容量：樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2，質(zhì)量為4kg（以鐵標(biāo)定）

    3、保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫2200℃）-氧化鋁（可耐溫1700℃）-高

　　　　　　　溫氈，總厚度為32mm

　石英管和密封法蘭

    1、石英管：兩端開口，外徑Ø216mm，內(nèi)徑Ø208mm，長500mm

    2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭，裝有防腐型真空計(jì)、不銹鋼截止閥，設(shè)有1個(gè)1/4"的鎧裝接口（可插入熱電

　　　　　　　　偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測量樣品溫度）

    3、底部法蘭：設(shè)有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接

　水冷機(jī)

    1、溫度：5℃-30℃

    2、水流速：>16L/min

    3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作

    4、水壓：≥0.1MPa

    5、流量：≥5L/min

 （建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到的冷卻效果）

　真空泵

　工作電壓：AC208V-240V單相

　移動(dòng)爐架

　尺寸：700mm×1000mm×700mm，鋼框架結(jié)構(gòu)，方便移動(dòng)感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管

產(chǎn)品規(guī)格

注意事項(xiàng)

　操作前，必須仔細(xì)閱讀說明書，且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，流

　量小于200ml/min，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過安

　全值，會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。

其他事項(xiàng)

　本機(jī)可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。