KLA公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器， iMicro高精度微納米壓痕儀。對(duì)納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。

? 快速精準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)納米壓痕測(cè)試

? 電磁加載方式

? 快速精準(zhǔn)的位移測(cè)量

? 超高框架剛度

? 熱漂移 <0.05nm/s