這款PELCO®凹坑儀是南灣科技D500i凹坑儀的改進版，是一種精密的機電金相研磨儀器。它可不斷的監(jiān)視和控制凹陷參數(shù)，并且在達到預先設置的樣品厚度時準確地終止研磨。這種機電一體化技術的實現(xiàn)了造坑過程的自動化，使得造坑減薄的過程變得可重復而可靠。
PELCO凹坑儀的精確度為±1μm，造坑面積大，機械損傷小?？蓪Χ喾N不同的材料進行造坑減薄，如硅、鎵砷化合物、鍺、藍寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復合物。
Z偏移量
精確度：
1 micron
范圍：
2000 microns
Z終止精確度
工具1i / 3i：
<±1 micron
工具2i / 4i：
<±2 microns
工具壓力
范圍：
1 - 200 grams
1 grams 步進
平衡
靈敏度：
1 grams
范圍：
50 grams
工具速度
100 - 600 RPM
樣品壓盤轉速
10 RPM
工具傳動軸
0.5微米TIR
工具1i / 3i：
<±1 micron TIR
工具2i / 4i：
<±2 microns TIR
壓盤表面
<0.5 micron TIR
外形尺寸
長度：
68.6cm
寬度：
35.6cm
高度：
33cm
重量：
32kg
電源
通用交流電：85~264 VAC，47~63 Hz
產(chǎn)品編號
描述
84000
PELCO ® TEM精密凹坑儀
83050
PELCO ®視頻對齊工具
83031
用于TEM的3mm樣品的標準工具組
83032
可調(diào)節(jié)壓板組
83001
藍寶石樣品座
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