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無機非金屬掃描電鏡制樣設(shè)備

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無機非金屬材料掃描樣品的制備流程

 

1

材料固定

MTI加熱平臺

2

切割

SYJ-200精密切割機、STX-202A小型金剛石線切割機

3

鑲嵌

HXQ-50自動熱鑲嵌機

4

研磨拋光

UNIPOL-810精密研磨拋光機

5

清洗

PCE-6V小型等離子清洗機

6

濺射

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

7

電子顯微鏡

KYKY-EM8000場發(fā)射掃描電子顯微鏡

8

耗材

金剛石線、外圓切割機用的各類鋸片、切割專用油、切割冷卻粉油石、陶瓷數(shù)

脂襯墊、石蠟砂紙、金剛石磨片樹脂基金剛石磨片、研磨紙研拋底片、磨料、拋光墊、拋光液、拋光膏、磁力橡膠水晶膠、硬性冷鑲模、軟性冷鑲模、彈性樣品夾(冷鑲嵌)、靶材

 

樣品要求:試樣經(jīng)切割和磨拋處理成適宜掃描電鏡觀察的大小后還應進行噴金或蒸碳處理,使其導電。

切割設(shè)備:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)適用于無機非金屬材料切割的的金剛石線切割機的型號有STX-202A、STX-1202A、STX-202AQ、STX-603 、STX-2401、STX-402、STX-2017種。外圓切割機的型號有:SYJ-400 、SYJ-200、SYJ-150、SYJ-160、SYJ-800 、 SYJ-50 6種??筛鶕?jù)材料的大小、切割的具體要求選擇合適的切割設(shè)備。

耗材:金剛石線切割機用的各類直徑的金剛石線、外圓切割機用的各類鋸片、切割專用油、切割冷卻粉、油石。

切割輔助設(shè)備:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的MTI-3040和MTI-250加熱平臺,設(shè)備操作簡單,溫度≤200℃。

耗材:陶瓷樹脂襯墊、石蠟

試樣的鑲嵌:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的適用于無機非金屬材料的冷鑲嵌機的型號為CXQ-2500。

耗材:水晶膠、硬性冷鑲模、軟性冷鑲模、彈性樣品夾(冷鑲嵌)

樣品的磨拋:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的手動研磨拋光機型號有UNIPOL-820UNIPOL-830、UNIPOL-1210三種。自動精密研磨拋光機型號有UNIPOL-810、UNIPOL-802 UNIPOL-1202、 UNIPOL-1502四種。自動壓力研磨拋光機型號有UNIPOL-1000D、UNIPOL-1200S、 UNIPOL-1200MUNIPOL-800M、UNIPOL-1260五種。 雙面研磨拋光機UNIPOL-160D一種。

耗材:砂紙、金剛石磨片、樹脂基金剛石磨片、研磨紙、研拋底片、磨料、拋光墊、拋光液、拋光膏、磁力橡膠

樣品的清洗:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的超聲波清洗機的型號有VGT-1620QTD、VGT-1620TD兩種。等離子清洗設(shè)備的型號有PCE-6、PCE-8、GSL1100X-PJF、GSL-1100X-PJF-A四種??筛鶕?jù)樣品自身的特性選擇合適的清洗方法。

樣品表面噴金和蒸碳:沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司生產(chǎn)的VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀是電鏡實驗室噴金和蒸碳常用的設(shè)備。

耗材:靶材

樣品觀察:將已經(jīng)導電的試樣用導電雙面膠粘接到載樣臺上之后就可以用掃描電子顯微鏡進行觀察了。

以上設(shè)備和對應耗材沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司均有銷售。


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