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EX-S-3FP EXACTUS紅外測溫儀

參考價￥80000-￥150000/條
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京宇冠世紀科技有限公司
  • 品牌 EXACTUS
  • 型號 EX-S-3FP
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/2/27 14:41:38
  • 訪問次數(shù) 710

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BASF公司 EXACTUS紅外測溫儀擁有專有技術，測溫精度高達1.5℃, 測溫重復性0.1℃，非常適用于晶圓的外延生長，氧化擴/散，快速退火等工藝的溫度測量。根據(jù)響應波長以及光學鏡頭的不同包括諸多型號如：EX-S-3FP, EX-S-7PY, EX-S-3PY, EX-S-2PY等等

詳細信息 在線詢價

主要特點

  • 使用短波進行低溫測量 (≥ 25 oC)

  • 精密度高, 分辨率達 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

  • 測溫重復性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年

  • 測量速度達 1,000 值 / 秒

  • 數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)

  • 可同時進行多達8通道的數(shù)據(jù)采集

詳細說明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅者, BASF已將其溫度測量技術專長應用于光學溫度測量. EXACTUS紅外測溫儀取得了技術性突破，在非接觸式溫度測量中提供了顯著的性能優(yōu)勢 .

EXACTUS紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術相比，超靈敏電子技術、精密光學技術以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好.

BASF的原創(chuàng)技術在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢. 高度敏感的電子學和先進的光學技術意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝.

典型應用

  • 硅晶生長

  • 薄膜沉積

  • 激光/感應焊接

  • 玻璃加工

  • 工業(yè)加熱




技術參數(shù)

測量參數(shù)
溫度范圍:

單色測溫：
65 – 1150℃(工作波長 0.7 - 1.6 μm)
100 – 1900℃ (工作波長 1.55 μm)
120 – 3000℃(工作波長 0.7 - 1.6 μm)
280 – 2200℃(工作波長 0.9 μm)
350 – 3000℃ (工作波長 0.9 μm)
500 – 3000℃ (工作波長 0.65μm)
采用特殊的光學器件可測量低溫至：
200℃(工作波長 0.90μm)
25℃(工作波長 0.7-1.6μm)

測量精度:優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值
分辨率:

最高0.01℃

重復精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
測量速率:最高1000 測值/秒, 響應時間1ms
D:S標準鏡頭, 40：1
高分辨率鏡頭, 200:1
可按需訂制
物理參數(shù)
供電:12-28 VDC, 3W
存儲溫度:-20 to 70℃
環(huán)境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環(huán)境下專用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質:傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁；
氣吹外殼，鋁；
惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼；
重量:標準高溫計，0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.)






北京宇冠世紀科技有限公司

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手機：18910232138

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