| 主要規(guī)格 | 規(guī)格描述 |
| X射線激發(fā)和檢測 | 牛津儀器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦點(diǎn)鎢靶X射線管 |
| 高分辨封氣(Xe)正比計(jì)數(shù)器可獲取的計(jì)數(shù)靈敏度，配合二次濾光器機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的檢出效果 |
| 數(shù)字脈沖處理 | 4096通道數(shù)字多道分析器，數(shù)字光譜處理過程可獲取的信號(hào)采集(每秒計(jì)數(shù)量)，從而保證測量統(tǒng)計(jì)結(jié)果 |
| 手動(dòng)或自動(dòng)透鏡控制 | 手動(dòng)透鏡控制：通過手動(dòng)調(diào)整DIM旋鈕控制分析聚焦距離 |
| 自動(dòng)透鏡控制：激光束自動(dòng)尋找DIM系統(tǒng)的分析聚焦距離 |
| 自由距離測定 | 簡化系統(tǒng)設(shè)置和維護(hù) |
| 在聚焦距離范圍內(nèi)僅需要一個(gè)校正 |
| 對(duì)不規(guī)則樣品更靈活的測量 |
| 在12.7mm-88.9mm的自由距離內(nèi)，可準(zhǔn)確測量樣品表面的任何一點(diǎn) |
| 通過DIM旋鈕或使用自動(dòng)激光聚焦功能，可快速、準(zhǔn)確的確定聚焦距離 |
| 附帶自動(dòng)透鏡功能的自動(dòng)激光聚焦 | 的、自動(dòng)樣品擺放系統(tǒng) |
| 激光掃描單鍵啟動(dòng) |
| 消除樣品碰擊Z軸的機(jī)會(huì) |
| 改善DIM的聚焦過程 |
| 標(biāo)準(zhǔn)激光聚焦 | 標(biāo)準(zhǔn)激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自動(dòng)尋找正確的Z軸位置，提高分析再現(xiàn)性，結(jié)果不受人為操作的影響 |
| Z軸聚焦掃描單鍵啟動(dòng) |
| 改善DIM和常規(guī)固定焦距測量時(shí)的聚焦過程 |
| 微小準(zhǔn)直器 | 儀器至少裝備一個(gè)客戶規(guī)格的準(zhǔn)直器以化測量，并提高測量效率 |
| 備有各種規(guī)格準(zhǔn)直器(0.015mm – 0.5mm),園形或矩形供客戶選用 |
| 多準(zhǔn)直器程序交換系統(tǒng)可同時(shí)安裝4個(gè)準(zhǔn)直器 |
| 大樣品室設(shè)計(jì) | 方便超大樣品的推拉式平臺(tái)：如大面積PCB板、較長的管材樣品 |
| 大型開發(fā)式樣品室：方便于從各方向進(jìn)樣和觀察樣品 |
| 三種樣品臺(tái)備選：可編程XY軸樣品臺(tái)、手動(dòng)XY軸樣品臺(tái)、固定位置樣品臺(tái) |
| 標(biāo)準(zhǔn)配置自動(dòng)化Z軸：高度230mm |
| 集成化計(jì)算機(jī) | 工作站式設(shè)計(jì)：改善人機(jī)工程學(xué)、方便使用 |
| 簡化設(shè)備安裝：僅需要接入主電源線，沒有其他電纜 |
| 減少整機(jī)占用空間 |
| USB和Ethernet接口：打印機(jī)、刻錄機(jī)、局域網(wǎng)和遠(yuǎn)程在線支持功能 |
| 其他硬件特點(diǎn) | CCD相機(jī)擁有2x、3x或4x的變焦功能，可實(shí)現(xiàn)對(duì)測定樣品的高分辨、實(shí)時(shí)、彩色圖像觀測 |
| 溫度補(bǔ)償功能監(jiān)測系統(tǒng)溫度，并自動(dòng)校正由于溫度變化可能引起的儀器漂移，保證長期的儀器穩(wěn)定性的儀器漂移，保證長期的儀器穩(wěn)定性 |
| 光譜校準(zhǔn)、單擊鼠標(biāo)執(zhí)行系統(tǒng)性能自檢和校正程序保證儀器長期的穩(wěn)定性 |
| 堅(jiān)實(shí)耐用的儀器設(shè)計(jì)適用于各種工業(yè)環(huán)境 |
| 一體化工作站設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的人機(jī)工程學(xué) |
