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MDPspot 單點(diǎn)壽命檢測(cè)儀

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桌面單點(diǎn)測(cè)量低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征

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桌面單點(diǎn)測(cè)量

 低成本的臺(tái)式少子壽命測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行表征。
 沒(méi)有內(nèi)置自動(dòng)化。可選配手動(dòng)z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。
 MDPspot可配電阻率測(cè)試選項(xiàng)。僅適用于硅，用于晶圓片，也可用于晶錠。 
 結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。 





特性

  • 無(wú)接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測(cè)試
    對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見(jiàn)缺陷檢測(cè)，具有可視化測(cè)試的分辨率
    對(duì)于不同級(jí)別晶圓片，提供不同的菜單選項(xiàng)


優(yōu)勢(shì)

用于不同制備階段，從成體到最終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置。
體積小，成本低，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件，結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。

  •              Exemplary linescans 

技術(shù)參數(shù)
樣品不同工藝處理樣品，如鈍化或擴(kuò)散后的單晶或多晶硅晶圓、晶錠、電池等
樣品尺寸50 x 50 mm² 到12“ 或210 x 210 mm²
電阻率0.2 - 10³ Ohm cm
材質(zhì)硅晶圓，晶錠，部分或全部加工晶圓，化合物半導(dǎo)體和其它類型 
少子壽命檢測(cè)范圍20ns到幾十ms
尺寸360 x 360 x 520 mm，質(zhì)量：16 kg
電源110/220 V, 50/60 Hz, 3 A


其它細(xì)節(jié)

允許單片調(diào)查
不同種類晶圓片有不同的菜單
監(jiān)控材料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性

















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