PICOSUN™P-1000 PICOSUN™ P-1000原子層沉積系統(tǒng)專門對于3D結構物體進行批量涂層加工。例如： 機械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫(yī)療植入物等。
PICOSUN™ P-1000系統(tǒng)專門對于3D結構物體 進行批量涂層加工，例如： 機械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫(yī)療植入器械。主要的應用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋 層， 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創(chuàng)新 的設計使得PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)在具 有制備高均一性的高質量ALD薄膜的同時能 夠有很高的產量， 并且是市場上保養(yǎng)、維護時 間，購置成本最小的ALD系統(tǒng)。這些都已 經在實際生產中得到證實。
可靠、快速且易于維護的PICOSUN™ P-1000 ALD系統(tǒng)代表了的工業(yè)化ALD工藝水平！
襯底尺寸和類型
? 大小不等的3D結構物件（例如： 機械零件、 玻 璃或金屬片、 硬幣、 珠寶以及醫(yī)療植入物等）
工藝溫度
? 50 – 400°C
標準工藝
? Al2O3, ZnO, TiO2
基片裝載
? 通過裝載工具進行手動裝載（例如： 叉車）
前驅體
? 液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
? 源瓶余量傳感器，提供清洗和裝源服務
? 6根獨立源管線， 最多加載10個前驅體源
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