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日立SU3800鎢燈絲掃描電鏡

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日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù)，使其低電壓性能大大提升，同時升級的高靈敏度背散射探測器和可變壓力探測器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升

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日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù)，使其低電壓性能大大提升，同時升級的高靈敏度背散射探測器和可變壓力探測器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報告導(dǎo)出等功能，使其操作也變得更為簡單。

主要特點：  

  • HexBias偏壓鎢燈絲電子槍；  
  • 優(yōu)異的高、低電壓性能； 
  • 高靈敏度五分割背散射電子探測器；  
  • 可變壓力二次電子探測器（高、低真空可用）；  
  • 全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能；  
  • 全自動燈絲設(shè)定和合軸；  
  • 報告導(dǎo)出和圖片處理；  
  • 可集成的EDS；  
  • 簡單方便的維護(hù)（燈絲更換視頻）； 

應(yīng)用領(lǐng)域： 材料科學(xué)、生命醫(yī)學(xué)、食品衛(wèi)生、半導(dǎo)體電子元器件、汽車制造等。

主要參數(shù)：

電子槍 預(yù)對中鎢燈絲
加速電壓 0.3kV – 30kV
分辨率 3.0nm@30kV (SE)
15.0nm@1kV (SE)
4.0nm@30kV (BSE, LV)
放大倍率 5x – 300,000x（底片倍率）

  7x – 800,000x（顯示器倍率）
探測器 二次電子探測器，高靈敏度無分割背散射電子探測器
可變壓力探測器UVD 2.0*
低真空可變壓力范圍 6 – 650Pa
樣品臺（三軸馬達(dá)） X: 0 - 100 mm
Y: 0 – 40 mm
Z: 5 – 65 mm
R: 0 – 360°
T: -20° - +90°


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