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正置金相顯微鏡 PA80MET / PA120MET

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產(chǎn)品簡介全新推出的PA80MET/PA120MET晶圓檢查/FPD顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計、不僅確保的光學性能,還具有安全穩(wěn)定的鏡架結(jié)構(gòu),使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性,極大的提高了顯微鏡的抗振能力,使PA80MET/PA120MET顯微鏡可廣泛的應用于工業(yè)檢測及大型試樣觀察,是晶圓行業(yè)、FPD行業(yè)的理想檢測工具

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產(chǎn)品簡介
全新推出的PA80MET/PA120MET晶圓檢查/FPD顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計、不僅確保的光學性能,還具有安全穩(wěn)定的鏡架結(jié)構(gòu),使之低重心、高剛性、高穩(wěn)定性,極大的提高了顯微鏡的抗振能力,使PA80MET/PA120MET顯微鏡可廣泛的應用于工業(yè)檢測及大型試樣觀察,是晶圓行業(yè)、FPD行業(yè)的理想檢測工具。


正置金相顯微鏡的成像效果受多種因素影響

一是球面象差。

造成這種現(xiàn)象的原因是球面單片透鏡的中心和邊緣厚度不同,即使是單色光通過時也會產(chǎn)生不同的折射,通過后不焦于一點,軸上象點被一個彌散的光斑所取代,這就是球面象差。為改善球面象差,目前均采用復合透鏡,即在主透鏡前加入發(fā)散凹透鏡。不過,這并不能消除,所以在使用顯微鏡時,可通過適當調(diào)整孔徑光闌的大小來改善。


二是象域彎曲。

直立物體通過透鏡獲得彎曲的圖像,稱為象域彎曲。其原因是遠軸細光束傾斜射入透鏡。這種象差對金相顯微照片特別不利,因此在金相照片時應選擇平面消色差和平面消色差鏡。因為對視場的邊緣進行了色差校正。


三是多色象差。

多色差是指白光通過鏡頭后,由折射引起的光分解(色散)引起的一系列采色群象現(xiàn)象。它又分為垂直色差和水平色差。垂直色差是指從軸上某一點發(fā)出的非單色光的光束。由于組成中包含不同(λ)的光波,會發(fā)生色散,導致這些光線交給軸上不同的點,形成一系列群體的色差。水平色差。由于不同顏色的光折射率不同,焦距也不同,但由于放大倍數(shù)與焦距有關(guān),目的物體不在軸上的點在離軸不同的距離處形成從而產(chǎn)生水平色差,也稱放大色差。


技術(shù)規(guī)格


PA80MET

PA120MET

光學系統(tǒng)

無限遠色差校正光學系統(tǒng) (CCIS®)

總放大倍數(shù)

50X-500X(選購100X,放大倍率1000X)

目鏡

UC-WF 10X/25,屈光度可調(diào) +/-5(標配)(選購15X/20X目鏡)

物鏡

Plan S-APO平場半復消色差金相物鏡BF/BD5X-50X100X選配)

LPlan S-APO長距平場半復消色差金相物鏡(選配BF/BD 20X-100X)

觀察筒

正像三目觀察筒 (FN 25),傾斜角 20°,三筒光路2檔選擇:(目視:相機-100:0,0:100)

雙目鏡筒瞳距

50-75mm

樣品厚度

29.5mm

物鏡轉(zhuǎn)換器

五孔轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽(BF、BF/BD可選) ,電動五孔轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽(選配)(BF、BF/BD可選)

粗微調(diào)焦裝置

行程范圍:29.5mm,粗、微調(diào)同軸調(diào)焦 ,粗調(diào):17.7mm/轉(zhuǎn),微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn) 上限位,松緊調(diào)節(jié)環(huán)

機械移動載物臺

8"載物臺

12"載物臺

尺寸325(W) X 325(D)mm

尺寸520(W) X 400(D)mm

行程200(X) X 200(Y)mm

行程300(X) X 300(Y)mm

照明

柯勒照明系統(tǒng) 12V/100W 長壽命鹵素燈

擴展功能

偏光觀察、DIC觀察、電動平臺、透反射機型

其它

可配Moticam數(shù)碼成像系統(tǒng)和軟件



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