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MX4R晶元半導(dǎo)體檢測顯微鏡

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大行程移動工作平臺，長工作距半復(fù)消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測

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大行程移動工作平臺，長工作距半復(fù)消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應(yīng)用于晶圓、FPD等各項(xiàng)工業(yè)檢測。

安全、穩(wěn)重的機(jī)架結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機(jī)架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計(jì)有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機(jī)架過熱。


反射照明器
單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機(jī)構(gòu)。切換至斜照明時，可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果。


高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
MX4R轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計(jì)，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器。

技術(shù)規(guī)格：

型號

MX4R

MX4RT

可選擇的觀察方法

明場/斜照明/偏振光/DIC

明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

目鏡

PL10X/22平場高眼點(diǎn)目鏡

觀察筒

30°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50:50

物鏡

LMPL無限遠(yuǎn)長工作距金相物鏡5X、10X、20X、50X、100X

轉(zhuǎn)換器

5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽

載物臺

4”雙層機(jī)械移動平臺，行程105x 105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口

4”雙層機(jī)械移動平臺，行程105x 105mm，帶玻璃平臺，右手位X、Y移動手輪，配平臺接口

顯微鏡鏡體

粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出

粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，雙路電源輸出

反射照明器系統(tǒng)

帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿。12V100W鹵素?zé)簦鈴?qiáng)連續(xù)可調(diào)（選擇此組照明器時，應(yīng)使用MX-6R型顯微鏡鏡體）

透射照明系統(tǒng)

/

單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌


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