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NEXIV VMZ-S系列

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為各種場合提供以高產(chǎn)量為核心的快速、準(zhǔn)確的檢測VMZ-S系列提供3大類機(jī)型,以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件,標(biāo)配有TTL(通過鏡頭的)掃描激光器

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為各種場合提供以高產(chǎn)量為核心的快速、準(zhǔn)確的檢測

VMZ-S系列提供3大類機(jī)型,以及一系列高質(zhì)量的光學(xué)器件,標(biāo)配有TTL(通過鏡頭的)掃描激光器。高速度和高精度相結(jié)合,可以更快地完成測量任務(wù)。

VMZ-S系列具有高精度和高速測量功能,可滿足日益增長的復(fù)雜需求,也可進(jìn)行廣泛應(yīng)用。




產(chǎn)品兩點(diǎn)

6種光學(xué)變焦系統(tǒng)

該系統(tǒng)從零開始設(shè)計(jì),利用專門設(shè)計(jì)的尼康光學(xué)系統(tǒng)提供高精度測量。



高速高度測量

高精度、高速高度測量通過高精度透鏡激光自動對焦實(shí)現(xiàn),能夠以每秒1000點(diǎn)的速度進(jìn)行高速掃描。



測量困難樣本的能力

利用尼康du家的照明配件,可以輕松測量難測的邊緣和特征。



不間斷自動測量

即使部件定位發(fā)生變化,也可以實(shí)現(xiàn)jing確測量。


核心功能




型號VMZ-S3020VMZ-S4540VMZ-S6555
XYZ量程300×200×200 mm450x400x200 mm650x550x200 mm
*TZ型低倍物鏡: 250×200×200 mm*TZ型低倍物鏡: 400x400x200mm*TZ型低倍物鏡: 600x550x200mm
最小讀數(shù)0.01 μm
載重量20 kg (精度保證: 5 kg)40 kg (精度保證: 20 kg)50 kg (精度保證: 30 kg)
允許誤差(L: 長度mm)EUX, MPE EUY, MPE 1.2 + 4L / 1000 µm
EUXY, MPE 2.0 + 4L / 1000 µm
EUZ, MPE1.2 + 5L / 1000 µm
測頭誤差 1),2): MPE PF2D 0.8 µm
畫面內(nèi)測量誤差 1),2): MPE PFV2D 0.3 µm
相機(jī)黑白 / 彩色 1/3 CMOS Camera
鏡頭工作距離Type 1, 2, 3: 50mm
Type 4: 30mm
Type TZ: (高倍物鏡) 11 mm / (低倍物鏡) 32 mm
Type A: 73.5 mm (帶激光63 mm)
激光對焦再現(xiàn)性 1),3)2σ ≦ 0.5 µm
光源反射, 透射, 3層8方向白色LED環(huán)光/Type 4 僅1層
Type TZ: 左物鏡: 反射, 暗場 ; 右物鏡: 反射, 透射, 暗場
Type A: 反射, 透射, 單層8方向白色LED環(huán)光
電源,功耗AC100 V-240 V, 50/60 Hz / 4 A ? 2 A
外型尺寸 & 重量主機(jī)帶底座 (W×D×H): 700×730×1793 mm / 約 265 kg主機(jī)帶底座 (W×D×H): 1000×1340×1818 mm / 約 510 kg主機(jī)帶底座(W×D×H): 1200×1640×1818 mm / 約 740 kg
控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg控制箱: 190×450×450 mm / 約 12 kg
占地大小 (W×D) 4)2700×2400 mm3000×3000 mm3200×3300 mm



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