Z軸立柱

標(biāo)準(zhǔn)立柱

高立柱

(垂直移動(dòng): 300mm)

(垂直移動(dòng): 500mm)

旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)

旋轉(zhuǎn)精度(JIS B 7451-1997)

徑向

(0.02+3.5H/10000)μmH: 為測(cè)量高度 (mm)

軸向

(0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)軸的距離 (mm)

旋轉(zhuǎn)速度

2, 4, 6, 10rpm (自動(dòng)定心: 20rpm)

工作臺(tái)有效直徑

Φ300mm

調(diào)心范圍

±5mm

調(diào)水平范圍

±1o

臺(tái)面承重

小于80kg (自動(dòng)定心: 65kg)

測(cè)量直徑

小于Φ356mm

工件直徑

小于Φ680mm

垂直移動(dòng)(Z軸立柱)

移動(dòng)直線度(λc2.5)

窄范圍

0.05μm/100mm

寬范圍

0.14μm/350mm

0.2μm/550mm

與轉(zhuǎn)臺(tái)軸平行度(母線要素基準(zhǔn))

0.2μm/350mm

0.32μm/550mm

移動(dòng)范圍

350mm

550mm

定位速度

小于60mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢測(cè)高度

350mm

550mm

檢測(cè)深度(使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭時(shí))

Φ32×104mm (深度),Φ12.7×26mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

0.4μm/200mm

與轉(zhuǎn)臺(tái)軸垂直度 (母線要素基準(zhǔn))

0.5μm/200mm

移動(dòng)范圍

225mm (–25mm ~ +200mm 轉(zhuǎn)臺(tái)中心)

***: 50mm/s (測(cè)量時(shí): 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢出器

測(cè)力

約 40mN

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭, 材質(zhì)

Φ1.6mm 硬質(zhì)合金

范圍

標(biāo)準(zhǔn)

±400μm/±40μm/±4μm

跟蹤

±5mm

其他

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) (0? ～ 270? 的范圍內(nèi)以1? 增量旋轉(zhuǎn))

其他

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量 (標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))

45L/min (120L/min 以上氣源)

重量

測(cè)量主體

650kg

670kg

防震臺(tái)架

170kg