采用了三重掃描方式，運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度，以及鏡面體，透明體等。基恩士VK-X3000系列形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)擁有應(yīng)對(duì)多種樣品的測(cè)量能力（從 1 nm 到 50 mm），納米/微米/毫米一臺(tái)完成測(cè)量。

采用了三重掃描方式，運(yùn)用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的細(xì)微粗糙度，以及鏡面體，透明體等。基恩士VK-X3000系列形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)擁有應(yīng)對(duì)多種樣品的測(cè)量能力（從1nm到50mm），納米/微米/毫米一臺(tái)完成測(cè)量。

觀察

從光學(xué)顯微鏡到SEM領(lǐng)域一臺(tái)設(shè)備涵蓋

· 42 至 28800 倍

· 無(wú)需對(duì)焦

· 適用于多種樣品

測(cè)量

非接觸瞬間掃描形狀

· 不會(huì)損傷目標(biāo)物

· 納米級(jí)別也可準(zhǔn)確測(cè)量

· 透明體和坡度大的目標(biāo)物也可測(cè)量

分析

希望了解的表面“差異”一目了然

· 定量化微小形狀

· 輕松比較多個(gè)樣品

· 粗糙度分析

三重掃描方式

解決“難以測(cè)量”的難題

可根據(jù)樣品工件的材料、形狀和測(cè)量范圍，選擇激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，進(jìn)行高精度測(cè)量。