測量范圍

Z軸（縱向）

50mm行程：250mm

X軸（橫向）

100mm(-22系統(tǒng)為200mm)

分辨率

Z軸指示精度

0.25%/全量程（但5mm范圍為±4µm以下）

測量分辨率

0.1µm (1-2L/100) µm L:測量長度（mm）

X軸指示精度

0.1µm

測量分辨率

1µm/100mm

直線度精度

1μm/100mm

測量方式

Z軸

差動電壓

Z軸

摩爾干涉光尺

記錄

縱倍率

0.01-10.000.000倍（可以為自動）

橫倍率

0.01-10.000.000倍（可以為自動）

速度

立柱上下移動速度（Z軸）

3mm/s

測量速度（X軸）

0.03、 0.06、 0.15 、0.3、 0.6、1.5、 3 、6mm/s

測量間距

1µm

測量點數(shù)

100.000點（10形狀）

測針半徑

0.025mmR

測量力

30mN以下

測量進(jìn)給方向

拉、推、兩方向

測量姿勢

上下 兩方向

計算處理功能

點、直線、圓、部分圓、橢圓。距離、坐標(biāo)差、直交/坐標(biāo)差顯示、交叉要素（點-直線、直線-直線、圓-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓-橢圓）、對稱要素（點-點、點-圓、點、橢圓、直線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓-橢圓

坐標(biāo)控制（原點設(shè)計、X軸設(shè)定、平行移動、回轉(zhuǎn)移動）

面積計算、Overpin計算、尺寸線顯示功能、計算結(jié)果與設(shè)計值對比、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動要素判定、計算點的重復(fù)功能、工件軌跡功能、搜尋功能、自動操作記錄回放功能

各要素

電源

單相AC220V±10% 50/60Hz

耗電量

380VA

設(shè)置尺寸

1850（W）*800（D）*750（H）mm

質(zhì)量

150kg

*產(chǎn)品信息僅供參考，型號和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時更改