ST400型三維表面形貌儀是一款多功能的三維形貌儀，采用的白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器可用于測(cè)量大尺寸樣品，并具有多種選項(xiàng)，包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，原子力顯微鏡模塊，光學(xué)顯微鏡，特征區(qū)域定位等多種功能模塊。

產(chǎn)品特性

1. 采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率

2. 測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高

3. 測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；

4. 尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面

5. 不受樣品反射率的影響

6. 不受環(huán)境光的影響

7. 測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理

8. Z方向,測(cè)量范圍大：為27mm

主要技術(shù)參數(shù)

1. 掃描范圍：150mm×150mm(可選600mm*600mm)

2. 掃描步長(zhǎng)：0.1μm

3. 掃描速度：20mm/s

4. Z方向測(cè)量范圍：27mm

5. 方向測(cè)量分辨率：2nm

產(chǎn)品應(yīng)用

    MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和材料的研發(fā)。