| 參考價 | 面議 |
JX系列大工作平臺半導體檢查顯微鏡，采用研究級顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學系統(tǒng)，人機工程學設計全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗
JX系列大工作平臺半導體檢查顯微鏡，采用研究級顯微鏡R照明系統(tǒng)和光學系統(tǒng)，人機工程學設計全面提升，照明均勻，成像清晰，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。突破性的大金相機架設計，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) | |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC | |
觀察筒 | 30°傾斜 | 0°- 35°傾斜 |
正像，無限遠鉸鏈式三通觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)：50-76mm， 分光比：100:0或0:100 | ||
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào) | |
物鏡 | 明暗場半復消金相物鏡5X、10X、20X、50X | |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場五孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
調(diào)焦機構 | 反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構。粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm；帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。 | |
載物臺 | 8英寸三層機械移動平臺: 平臺面積525mm×330mm 移動范圍：210mm×210mm | 12×14英寸機械移動平臺: 平臺面積420mm×718mm， 移動范圍：305mm×356mm； |
低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板，（反射用） | ||
晶圓輔助臺 | 選配 | |
反射照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置； 帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
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攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 | |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；DIC微分干涉組件； 反射用干涉濾色片組；高精度測微尺 | |
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