奧林巴斯激光共焦顯微鏡OLS5100

主機

型號

OLS5100-SAF

OLS5100-SMF

OLS5100-LAF

OLS5100-EAF

總倍率

54x–17,280x

視場

16 µm–5,120 µm

測量原理

光學系統(tǒng)

反射式共焦激光掃描激光顯微鏡

反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡

顏色

彩色DIC

光接收元件

激光：光電倍增管（2通道）

彩色：CMOS彩色相機

高度測量

顯示分辨率

0.5 nm

動態(tài)范圍

16位

重復性σn _-1^{*1 *2 *5}

5X：0.45 μm, 10X：0.1 μm, 20X：0.03 μm, 50X：0.012 μm, 100X：0.012 μm

準確度^{*1 *3 *5}

0.15 + L / 100μm（L：測量長度[μm]）

拼接圖像準確度^{*1 *3 *5}

10X：5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])

測量噪聲（Sq噪聲）^{*1 *4 *5}

1 nm（典型值）

寬度測量

顯示分辨率

1 nm

重復性3σ_n-1  ^{*1 *2 *5}

5X：0.4 μm, 10X：0.2 μm, 20X：0.05 μm, 50X：0.04 μm, 100X：0.02 μm

準確度^{*1 *3 *5}

測量值+/- 1.5%

拼接圖像準確度^{*1 *3 *5}

10X：24+0.5L μm, 20X：15+0.5L μm, 50X：9+0.5L μm, 100X：7+0.5L μm (L：拼接長度[mm]）

單次測量時測量點數(shù)量

4096 × 4096像素

測量點數(shù)量

3600萬像素

XY載物臺配置

長度測量模塊

•

不適用

不適用

•

工作范圍

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動

樣品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)

激光光源

波長

405 nm

輸出

0.95 mW

激光等級

2級（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）

彩色光源

白光LED

電氣功率

240 W

240 W

278 W

240 W

質(zhì)量

顯微鏡主體

約 31 kg

約 32 kg

約 50 kg

約 43 kg

控制箱

約 12 kg

物鏡

系列

型號

數(shù)值孔徑（NA）

工作距離（WD）（mm）

UIS2物鏡

MPLFLN2.5x

0.08

10.7

MPLFLN5x

0.15

20

專用LEXT物鏡（10X）

MPLFLN10xLEXT

0.3

10.4

專用LEXT物鏡（高性能型）

MPLAPON20xLEXT

0.6

1

MPLAPON50xLEXT

0.95

0.35

MPLAPON100xLEXT

0.95

0.35

專用LEXT物鏡（長工作距離型）

LMPLFLN20xLEXT

0.45

6.5

LMPLFLN50xLEXT

0.6

5.2

LMPLFLN100xLEXT

0.8

3.4

超長工作距離物鏡

SLMPLN20x

0.25

25

SLMPLN50x

0.35

18

SLMPLN100x

0.6

7.6

適用于LCD樣品的長工作距離物鏡

LCPLFLN20xLCD

0.45

8.3-7.4

LCPLFLN50xLCD

0.7

3.0-2.2

LCPLFLN100xLCD

0.85

1.2-0.9

應用  軟件

標準軟件

OLS51-BSW

數(shù)據(jù)采集app

分析應用程序（簡單分析）

電動載物臺套件應用*1

OLS50-S-MSP

高級分析應用*2

OLS50-S-AA

薄膜厚度測量應用

OLS50-S-FT

自動邊緣測量應用

OLS50-S-ED

顆粒物分析應用

OLS50-S-PA

智能實驗管理助手應用

OLS51-S-ETA

球體/圓柱體表面角度分析應用

OLS50-S-SA