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HTM系列測(cè)量顯微鏡

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HTM系列測(cè)量顯微鏡滿(mǎn)足不同種類(lèi)的測(cè)量范圍檢測(cè),測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確,操作簡(jiǎn)單,更多詳情如下

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圖片29.jpg

●操作便捷

集中化顯微鏡操作,調(diào)焦手輪、速度控制、遙控開(kāi)關(guān)均可實(shí)現(xiàn)單手盲操作,實(shí)現(xiàn)大試樣高精度快速測(cè)量。

電動(dòng)Z軸調(diào)焦

使用電動(dòng)調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測(cè)量時(shí)的操作疲勞。

穩(wěn)固的機(jī)械機(jī)構(gòu)

充分考慮工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),內(nèi)置減震機(jī)構(gòu),保證了高水平的重復(fù)性精度。

高度靈活

模塊化的硬件、功能強(qiáng)大的軟件方案,自由搭配成像光路、載物臺(tái)、FA聚焦導(dǎo)航、旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)、晶圓轉(zhuǎn)盤(pán)等。

高密度拼接

使用高密度拼接功能、多幅圖像可以拼接擴(kuò)展為一幅大視野全景圖像

圖片49.jpg

◆電動(dòng)Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)使用專(zhuān)用的控制器簡(jiǎn)化了的垂直移動(dòng)操作。

◆新款測(cè)量顯微鏡可配備一個(gè)新型輔助對(duì)焦機(jī)構(gòu),以提供更清晰和更的對(duì)焦。相比以前型號(hào),高精度Z軸測(cè)量更簡(jiǎn)便。

◆得益于各種電動(dòng)控制以及人體工程學(xué)設(shè)計(jì),極大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的載物臺(tái),操作起來(lái)也十分得心應(yīng)手。

◆使用數(shù)碼相機(jī)和 M- Inspect 測(cè)量軟件進(jìn)行數(shù)字圖像拍攝可通過(guò)的自動(dòng)邊緣檢測(cè)進(jìn)行快速測(cè)量。

◆X、Y和Z軸的較小單位可以在 0.1 μm和0.5μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

HTM系列測(cè)量顯微鏡配置參數(shù)

型號(hào)

HTM150D

HTM200D

HTM300D

HTM400D

圖像

正像/反像

觀察方法

明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉觀察

目鏡

屈光度可調(diào)10X(視場(chǎng)數(shù):22mm)

物鏡

平場(chǎng)消色差/平場(chǎng)半復(fù)消色差系列鏡頭

調(diào)焦系統(tǒng)

更大被測(cè)物高度

200mm

電動(dòng)調(diào)焦參數(shù)

微調(diào):50μm、100μm、400μm /圈可選  

點(diǎn)動(dòng):100μm /

粗調(diào):10mm/秒

調(diào)焦精度

較小步距

0.1μm

測(cè)量重復(fù)性

±1μm

照明裝置

透射照明

遠(yuǎn)心照明、無(wú)級(jí)亮度可調(diào)、5W LED光源

反射照明

科勒照明、可調(diào)孔徑光闌、無(wú)級(jí)亮度可調(diào)、5W LED光源

輔助照明

FA輔助聚焦、LED環(huán)型光源、光纖冷光源

載物臺(tái)

測(cè)量范圍

200*150mm

300*200mm

300*300mm

400*300mm

金屬臺(tái)尺寸

400*280mm

500*350mm

500*450mm

600*450mm

玻璃尺寸

245*192mm

350*250mm

350*350mm

450*350mm

快速釋放裝置

標(biāo)準(zhǔn)配置

遙控開(kāi)關(guān)

RESET(復(fù)位)與SEND(發(fā)送)按鈕位于X手輪附近

數(shù)字計(jì)數(shù)器

較小讀數(shù)

可在0.5/0.1μm選擇

功能

調(diào)零、分中、方向轉(zhuǎn)換、公英制轉(zhuǎn)換、RS232輸出

測(cè)量精度

3+0.02L)μm  L為測(cè)量長(zhǎng)度

功耗

230W、85~240VAC 50/60HZ

主機(jī)

外型尺寸

659*660*744mm

659*710*744mm

659*660*744mm

659*710*744mm

重量

80KG

110KG

160KG

175KG




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