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AL120-12晶圓搬送機(jī)

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AL120-12晶圓搬送機(jī)

  AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全

 

自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格 

AL120-LMB12-LP 

AL120-LMB12-F 

晶圓尺寸 

300 mmSEMI M1.15 t775 μm)可選:200 mm 

卡盒 

●FOUPFront Opening Unified Pods)前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 
●SEMI
E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 
●FIMS-FOSB, FOSB 

●FOSBFront Opening Shipping Box)前開門搬運(yùn)盒 
●SEMI
M31-0999規(guī)格產(chǎn)品 

卡盒數(shù) 

單盒(裝載、卸載兼用) 

卡盒設(shè)置高度 

900 mm 

裝載端口 

 

 

搬運(yùn)順序 

表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 

檢查模式 

全部檢查、抽樣檢查 

晶圓校準(zhǔn) 

非接觸式中心環(huán) 

晶圓搬運(yùn)方式 

真空吸附機(jī)械搬運(yùn) 

適用顯微鏡 

半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L 

應(yīng)用環(huán)境 

AC100120 V,220240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67-80 Kpa 

載物臺(tái) 

XY手動(dòng)吸附載物臺(tái),有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 

重量(不包括顯微鏡) 

360 kg 

270 kg 

  

主要特性:

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),操作方便

· 可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡(jiǎn)便性。

· 分別對(duì)應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。

堅(jiān)固、可靠和安全傳送

· 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。

· 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。

· 宏觀觀察位置的化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。


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