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AST-MX12R 半導(dǎo)體 \FPD 檢查顯微鏡

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產(chǎn)品描述：新的MX12R半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡，支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查

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AST-MX12R 半導(dǎo)體 FPD 檢查顯微鏡2.jpg

產(chǎn)品描述：

新的MX12R半導(dǎo)體 /FPD 檢查顯微鏡，支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學(xué)設(shè)計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。

詳細(xì)參數(shù)：

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式

明場/暗場/偏光/DIC

觀察筒無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版
物鏡無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 20X
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡 50X 100X
轉(zhuǎn)換器明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
機架組反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
透反機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
載物臺右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍 ：356mmX305mm
帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用）
電動平臺面積 495mmX641mm，移動范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺
照明系統(tǒng)明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像附件

0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦
其他起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 組件



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