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高精密衍射光學(xué)元件

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納米制造工藝自有核心納米加工產(chǎn)線，包括光刻、蒸鍍、裁切、封裝等

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納米制造工藝
自有核心納米加工產(chǎn)線，包括光刻、蒸鍍、裁切、封裝等。成熟的關(guān)鍵元件制造工藝，實(shí)現(xiàn)消費(fèi)級衍射光學(xué)元件。
納米制造工藝-高精密衍射光學(xué)元件
衍射器件設(shè)計(jì)
自有DOE設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，豐富的衍射光學(xué)理論計(jì)算和設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，可以定制開發(fā)各種DOE器件。
光譜人工智能-高精密衍射光學(xué)元件
成熟的供應(yīng)鏈
長期的硅光半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈管理經(jīng)驗(yàn)?？焖俳桓逗透吡计仿实谋ＷC。
多項(xiàng)核心技術(shù)-高精密衍射光學(xué)元件
功能參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

  • 材料：玻璃、玻璃/樹脂、金屬、硅等
  • 最小光柵結(jié)構(gòu)寬度：30nm
  • 二維光柵結(jié)構(gòu)形狀：矩形、三角形（閃耀光柵）、斜齒
  • 三維光柵結(jié)構(gòu)形狀：納米柱、納米孔
  • 光柵結(jié)構(gòu)深寬比：可達(dá)10：1
  • 加工面積：12英寸


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