型號

HD-50D

HD-90D

SMU-180D

相機

2000萬像素超清工業(yè)數(shù)字相機

鏡頭

雙遠心鏡頭

光源系統(tǒng)

遠心平行底光+表面環(huán)光+同軸光+升降環(huán)光升降環(huán)光(0°/45°)

Z軸移動行程

45mm

55mm

100mm

載物臺承重

15KG

視野

42×35mm

90×60mm

180×130mm

重復性精度

±1.5μm

±2μm

±5μm

測量精度

±3μm

±5μm

±8μm

測量軟件

IVM-2.0

測量模式

可同時測量單個或多個樣品

測量速度

1-3S/100尺寸

電源

AC220V/50Hz,200W

操作環(huán)境

溫度: 22℃±3℃  濕度: 50～70%

Vibration: <0.002mm/s, <15Hz

重量

35KG

40KG

100KG

質(zhì)保

12個月