DVIM系列提供比ISO氣動(dòng)隔振器更多的阻尼,它是一個(gè)用于線性X-Y平臺(tái)的子系統(tǒng),可以限度地減少振動(dòng),并在平臺(tái)運(yùn)動(dòng)發(fā)生后穩(wěn)定平臺(tái)。 DVIM-G提供的有效載荷建立時(shí)間,主要的隔振性能和優(yōu)異的阻尼性能。
主要的隔振
與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的氣動(dòng)隔振器不同,DVIM-G采用特殊的機(jī)械過(guò)濾系統(tǒng),提供的水平隔振。此外,DVIM-G具有的垂直隔振性能,DVIM-G氣動(dòng)隔振器經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可在重型和高速線性X-Y平臺(tái)內(nèi)提供的隔振性能。
兩室和可變孔板
DVIM-G的雙室系統(tǒng)包括一個(gè)氣室和一個(gè)連接兩個(gè)孔的阻尼室:一個(gè)位于室外的可變孔和一個(gè)位于室內(nèi)的內(nèi)孔。這些孔控制這些腔室之間的空氣流動(dòng),這增加了阻尼效率并減少了沉降時(shí)間。當(dāng)發(fā)生階段運(yùn)動(dòng)時(shí),氣室產(chǎn)生恢復(fù)力,空氣通過(guò)小孔流入阻尼室。這些孔消耗空氣中的能量和擾動(dòng),導(dǎo)致系統(tǒng)阻尼,減少有效負(fù)載的建立時(shí)間。
創(chuàng)新的調(diào)平閥門(mén),加快建立時(shí)間
我們的三個(gè)雙向調(diào)平閥能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng),提供多種閥門(mén)選擇,從±0.5mm的重復(fù)性標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén)到±0.05mm重復(fù)性的精確閥門(mén)。另外,在DVIM-G型隔振器上加裝A.O.V閥,使沉降片在沉重的階段運(yùn)動(dòng)后,通過(guò)控制氣流在垂直和水平軸上快速沉降整個(gè)系統(tǒng)。
油阻尼器選項(xiàng)
當(dāng)DVIM-G隔離器與外部油阻尼器一起使用時(shí),X-Y線性級(jí)的運(yùn)動(dòng)被最小化,有效負(fù)載穩(wěn)定時(shí)間減少,并且隔離器的剛度增加。
應(yīng)用
線性階段、半導(dǎo)體/ FPD制造檢測(cè)系統(tǒng)、光學(xué)激光設(shè)備、OEM應(yīng)用程序
規(guī)格
隔振:氣動(dòng)隔離
自然頻率:垂直1.5-1.7Hz,水平:1.2-1.5Hz
隔振:10Hz時(shí)±95%
建立時(shí)間:±1.0秒
調(diào)平:自動(dòng)調(diào)平
調(diào)平重復(fù)性:精密閥門(mén):±0.05mm,標(biāo)準(zhǔn)閥門(mén):±0.1mm
阻尼:可變孔板,內(nèi)部孔板,雙室系統(tǒng),外部油阻尼器
性能
解決時(shí)間
訂購(gòu)圖表