前臺(tái)進(jìn)給范圍（Y軸） 50mm
上下進(jìn)給范圍（Z軸） 1000mm

zui大裝載直徑φ900mm φ520mm φ400mm
回轉(zhuǎn)精度（JIS B7451） 0.06um 0.08um（使用測(cè)臂時(shí)）
直線度精度2um/200mm、5um/600mm 2um/200mm（使用測(cè)臂時(shí)）
平行度精度上下方向（Z軸） 2um/100mm 3um/100mm
RONDCOM 72A圓柱度儀驅(qū)動(dòng)速度
回轉(zhuǎn)方向2/min（測(cè)量）、10/min（自動(dòng)調(diào)中心） 4/min（測(cè)量）、10/min（自動(dòng)調(diào)中心）
上下方向0.6、1.5、6mm/s（測(cè)量）、zui大30mm/s 0.6、6mm/s
工作臺(tái)裝載條件
工作臺(tái)尺寸600mm（W）×55mm（D） 600mm（W）×540mm（D） 460mm（W）×400mm（D）
裝載質(zhì)量200kg 80kg
傳感器
測(cè)量力φ1.6mm超硬球R0.25mm藍(lán)寶石
測(cè)針形狀70mN 測(cè)臂a:170mN、測(cè)臂b:85mN
圓度評(píng)價(jià)方法MZC（zui小領(lǐng)域中心法）、LSC（zui小平方中心法）、MIC（zui大內(nèi)接圓中心法）、MCC（zui小外接圓中心法）、NC。
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