針對(duì)多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試技術(shù)研究現(xiàn)狀和存在問(wèn)題，開(kāi)發(fā)生產(chǎn)了多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試儀，如圖1所示。多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試曲線如圖2所示。

圖1 多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試儀

應(yīng)用

• 金屬材料、合金材料

• 陶瓷材料

• 聚合物材料

• 生物材料

• 仿生組織

• 復(fù)合材料

• 玻璃

• 半導(dǎo)體器件、薄膜

• 硬質(zhì)涂層等等材料

• 多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試儀，為材料制備、生命科學(xué)、航空航天和星際探索提供精準(zhǔn)技術(shù)支撐

• 研制了結(jié)構(gòu)緊湊的多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試儀,適用于傳統(tǒng)壓痕測(cè)試以及多物理場(chǎng)測(cè)試

• 壓電致動(dòng)器作為壓痕測(cè)試的精密驅(qū)動(dòng)加載，可大行程壓痕驅(qū)動(dòng)

• 配備控制主機(jī)，專(zhuān)用檢測(cè)控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件，軟件功能強(qiáng)大，包括實(shí)時(shí)顯示測(cè)試過(guò)程中位移和載荷信號(hào)變化并能夠從中提取信號(hào)波動(dòng)大小、顯示生成實(shí)驗(yàn)曲線等功能

• DCYH型納米壓痕儀采用壓電致動(dòng)器的載荷裝置，從而保證測(cè)量的精確度

• 壓痕測(cè)試模塊具有很好的重復(fù)性和良好的測(cè)試精度

• 電、磁多場(chǎng)耦合加載

(a) 電+磁試驗(yàn)曲線

                               (b) 電場(chǎng)試驗(yàn)曲線                                     (c) 磁場(chǎng)試驗(yàn)曲線

圖2 多物理場(chǎng)微納米壓痕測(cè)試曲線

    如圖2（a）所示，對(duì)La0.7Sr0.3MnO3、0.33PIN、0.35PMN、0.32PT四種材料進(jìn)行外加電場(chǎng)、磁場(chǎng)的壓痕測(cè)試，結(jié)果發(fā)現(xiàn)：外加電場(chǎng)與磁場(chǎng)均會(huì)顯著導(dǎo)致材料的接觸剛度增加。
    如圖2（b）所示，正向電場(chǎng)與負(fù)向電場(chǎng)均對(duì)PMN-PT材料的壓痕曲線有所影響，結(jié)果表現(xiàn)：材料的彈性性能與塑性性能均隨著外加電場(chǎng)的影響而有所變化。
    如圖2（c）所示，單晶鎳材料在外加2000Oe磁場(chǎng)的環(huán)境下，壓痕平均增加2.67%，殘余壓深平均增加4.14%，結(jié)果表現(xiàn)：可得材料的彈性模量增加31.36%，硬度減小6.77%。