高性能的s-SNOM和AFM成像

布魯克公司是從宏觀、亞微米到納米尺度紅外光譜（nanoIR）領(lǐng)域的世界。在納米尺度下的物理和化學(xué)性質(zhì)等測(cè)量方面，我們致力于為聚合物、二維材料、材料科學(xué)、生命科學(xué)和微電子工業(yè)等多個(gè)領(lǐng)域提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和解決方案。
Anasys 納米紅外光譜儀（nanoIR) 已被多所大學(xué)、國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和的化學(xué)/材料公司所采用。憑借高影響力和不斷增長(zhǎng)的研究成果，通過(guò)廣大客戶的實(shí)際應(yīng)用，納米紅外光譜儀表現(xiàn)出了良好的易用性和高效性。

性能的散射式 -SNOM 和 AFM 成像系統(tǒng)

nanoIR3-s系統(tǒng)將散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（s-SNOM）和納米紅外光譜儀（AFM-IR）集成于一臺(tái)原子力顯微鏡（AFM）中，所有功能可在一個(gè)測(cè)量平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)。nanoIR3-s系統(tǒng)建立在Anasys的既有技術(shù)之上，并在基于AFM的納米光學(xué)表征領(lǐng)域中具有地位，它提供了納米級(jí)的紅外光譜分析，化學(xué)成像和具有10 nm空間分辨率的光學(xué)特性成像功能。該系統(tǒng)還支持納米級(jí)分辨率的AFM形貌成像和材料物理性質(zhì)成像功能，使其成為用于材料科學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域相關(guān)研究的理想選擇。

nanoIR3-s系統(tǒng)的主要特點(diǎn):

•  飛秒級(jí)寬波帶nano-FTIR光譜
• 互補(bǔ)的s-SNOM和AFM-IR技術(shù)
• 具有電學(xué)、力學(xué)和熱學(xué)測(cè)試模塊的全功能高分辨的AFM平臺(tái)

納米尺度下互補(bǔ)的成像技術(shù)

1）散射式近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡（s-SNOM）

s-SNOM 應(yīng)用技術(shù)進(jìn)行近場(chǎng)振幅和相位測(cè)量，測(cè)量過(guò)程中可以將探針定位在樣品上的固定位置，并改變光源的波長(zhǎng)以提供近場(chǎng)光譜。s-SNOM 的點(diǎn)光譜成像是一項(xiàng)技術(shù)，由連續(xù)QCL激光器提供近場(chǎng)光譜、近場(chǎng)振幅和相位成像。

2）輕敲模式 AFM-IR

輕敲模式 AFM-IR 利用輕敲模式 AFM 作為傳感機(jī)構(gòu)，測(cè)量樣品表面的光熱膨脹分布。具體來(lái)說(shuō)，輕敲模式AFM-IR 可以利用輕敲模式下探針懸臂不同的諧振模式來(lái)測(cè)量光熱膨脹。輕敲模式AFM-IR可以在樣品上施加較低的 AFM 作用力，以實(shí)現(xiàn)更高的化學(xué)成像空間分辨率，對(duì)于不同種類的樣品，其分辨率可達(dá)10nm或更低。

3）共振增強(qiáng)型 AFM-IR

共振增強(qiáng)型 AFM-IR 技術(shù)是利用寬帶、脈沖、可調(diào)諧的中紅外激光器自上而下照射樣品實(shí)現(xiàn)的，脈沖激光被樣品選擇性地吸收，引起快速和瞬時(shí)的局部膨脹，并通過(guò)AFM 探針的機(jī)械偏轉(zhuǎn)來(lái)檢測(cè)，得到的紅外吸收光譜可與傅里葉紅外光譜（FTIR）直接對(duì)應(yīng)解讀，并可根據(jù)現(xiàn)有的紅外光譜數(shù)據(jù)庫(kù)進(jìn)行檢索。

4）力學(xué)性質(zhì)成像，納米熱學(xué)分析和電學(xué)AFM模式

nanoIR3-s還可以提供以洛倫茲接觸共振技術(shù)（LCR）測(cè)量AFM懸臂梁的接觸共振頻率，從而繪制樣品的力學(xué)性質(zhì)分布圖。nanoIR3-s 還可以通過(guò)納米熱學(xué)分析技術(shù)（nanoTA）在納米空間分辨率下定量測(cè)量樣品的熱熔點(diǎn)，同時(shí)對(duì)樣品微區(qū)進(jìn)行熱性質(zhì)成像（SThM）。此外，nanoIR3-s 還提供了表面電勢(shì)測(cè)量模塊（KPFM）和導(dǎo)電原子力測(cè)量模塊（CAFM）。