一、概述
VAIS-PMT是世界上的與隔音罩集成的氣動(dòng)主動(dòng)隔振器.納米測(cè)量?jī)x器不僅容易受到地板結(jié)構(gòu)振動(dòng)的影響，而且容易受到聲振和氣流的影響。VAIS-PMT的主動(dòng)防振系統(tǒng)和隔音屏蔽系統(tǒng)有效地消除了這些因素.
VAIS-PMT采用氣動(dòng)主動(dòng)抗振動(dòng)框架，可提供穩(wěn)定的振動(dòng)環(huán)境，以對(duì)抗甚至非周期的脈沖振動(dòng)輸入。隔音罩采用多層隔音墻，阻擋空調(diào)設(shè)備附近的氣流和噪音。
二、規(guī)格
1）高阻尼氣動(dòng)支架
采用高阻尼氣動(dòng)支撐架，VAIS-PMT對(duì)非周期沖擊振動(dòng)具有良好的穩(wěn)定性.
2）Floor Feed-forward控制
利用反饋和地面前饋控制，AVIS-PMT具有良好的抗低頻振動(dòng)干擾能力，是被動(dòng)防振系統(tǒng)中常見(jiàn)的問(wèn)題。
3）LED狀態(tài)指示器
前面板上有三盞LED燈(紅色、綠色、藍(lán)色)，方便地告知用戶振動(dòng)環(huán)境的變化和可見(jiàn)性。
4）遠(yuǎn)程支持
通過(guò)遠(yuǎn)程控制，vis-pmt提供了的控制參數(shù)，并在無(wú)工程師病毒感染的情況下檢查異常。
5）多層墻隔音罩
6層壁面結(jié)構(gòu)的隔音罩，能很好地消除氣流和聲噪聲對(duì)空氣傳播的干擾
| 標(biāo)準(zhǔn)尺寸 | 610(W) x 730(L)x 895(H) [mm] |
| 平臺(tái)類型 | 花崗巖(標(biāo)準(zhǔn))/光學(xué)面包板(選項(xiàng)) |
| <> | 0~150kg (標(biāo)準(zhǔn)) |
| 支撐架 | 氣動(dòng)(壓縮空氣)彈簧 |
| 控制的自由度 | 3軸6自由度(全主動(dòng)系統(tǒng)) |
| 控制范圍 | 0.5 ~ 1000 нz |
| 控制類型 | Feedback & Floor Feed-Forward Control |
| 氣壓 | 超過(guò) 0.5MPa |
| 電源 | AC 90~230V/50~60Hz |
三、性能
1）主動(dòng)隔振框架的隔振性能
| 共振范圍(>1Hz) | 不存在 |
| 頻域的隔離效果 |
| 2Hz | -10dB(60%隔離度) |
| 5Hz | -30dB(85%隔離度) |
| 10Hz | 40dB(99%隔離度) |
| 20Hz~ | -40dB(99%隔離度) |
2）隔音罩的噪聲隔離性能
| 頻率 | 降噪 | 頻率 | 降噪 |
| 63Hz | 14dB | 1000Hz | 41dB |
| 125Hz | 28dB | 2000Hz | 41dB |
| 250Hz | 29dB | 4000Hz | 42dB |
| 500Hz | 32dB | 8000Hz | 44dB |
四、應(yīng)用展示
1. 應(yīng)用指南
(1)結(jié)構(gòu)噪聲(振動(dòng))具有較長(zhǎng)的波長(zhǎng)和較強(qiáng)的能量，因此對(duì)其進(jìn)行隔離顯得尤為重要。
(2)空氣傳播振動(dòng)和聲振動(dòng)(噪聲)將較小的能量傳輸?shù)侥繕?biāo)儀器時(shí)，直接傳輸?shù)斤@微鏡的測(cè)量點(diǎn)，對(duì)顯微鏡圖像產(chǎn)生很大的畸變。
來(lái)自附近暖通空調(diào)系統(tǒng)的氣流對(duì)顯微鏡也有很大的影響。
(3)單手防止地板振動(dòng)、空氣噪聲和氣流，達(dá)到的納米尺度測(cè)量。
VAIS-PMT for BRUKER Dimension FastScan
VAIS-PMT for BRUKER Dimension Icon
VAIS-PMT for BRUKER MultiMode8
VAIS-PMT for BRUKER-JPK Bio-AFM
2. 可配套使用的儀器
（1）原子力顯微鏡
（2）掃描探針顯微鏡
（3）三維表面測(cè)量系統(tǒng)
（4）高精度光學(xué)顯微鏡
（5）納米壓痕系統(tǒng)
（6）納米測(cè)量/分析儀器
