三維表面計量與檢測的---用于3D計量的全自動臺式

ContourX-500 光學輪廓儀是功能面的自動化臺式系統(tǒng)，可快速完成非接觸式三維表面計量。ContourX-500 具有的 Z 軸分辨率和準確度，并具備布魯克落地式白光干涉（WLI）儀器廣受業(yè)界認可的所有優(yōu)勢，而占地面積更小。該款輪廓儀可輕松自主配置，適用于從精密加工表面和半導體工藝的質(zhì)量保證／質(zhì)量控制（QA/QC）計量到眼科和微機電系統(tǒng)（MEMS）器件的研發(fā)表征等廣泛的復雜應用。

1 ）的臺式三維形貌計量設(shè)備

* 與放大倍率無關(guān)的業(yè)界Z軸分辨率

*  高級自動化功能，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調(diào)整

*  更緊湊的氣動減震臺設(shè)計

2 ）的測量與分析功能

*  易于使用的界面，可快速準確地獲得結(jié)果

*  廣泛的自動化功能，可量身定制測量和分析程序

*  泛的濾鏡和分析工具

*  滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標準在內(nèi)的定制化分析報告

3）高級自動化功能

布魯克專有的自動傾斜測頭為生產(chǎn)和監(jiān)測提供了的靈活性。通過將自動傾斜測頭與光學裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實現(xiàn)了測試位置不受傾斜角度影響的測量。這樣可以減少操作員的干預，提供的可重復性。進一步結(jié)合自動樣品臺和物鏡塔臺，使得ContourX-500非常適合“按需測量”工業(yè)要求，且占用空間小。

4）的分析與回報

通過上千項自定義分析功能和簡潔而強大的VisionXpress™和Vision64®用戶界面，ContourX-500為提高實驗室和工廠車間的生產(chǎn)率進行了優(yōu)化。這種的硬件和軟件組合提供了對高可重復性和高通量計量學測量的便捷訪問，超過了同類計量設(shè)備的能力。傳統(tǒng)的樣品臺傾斜方式需要通過使用者調(diào)整五個運動軸才能保證測試位置保持在入射光垂直測試位置。布魯克的傾斜測頭設(shè)計使其在移動時能一直保持測試位置準確聚焦成像，無需擔心調(diào)整樣品傾角時視場移動，從而更輕松、快速、自動測量。

相關(guān)圖片

1）傳統(tǒng)的俯仰滾動工作臺設(shè)計需要操作人員調(diào)整五個旋轉(zhuǎn)軸，以將檢測點保持在視線上進行測量。布魯克的光學頭傾斜/俯仰設(shè)計，不受傾斜影響，都能將視線保持在檢測點上，從而優(yōu)化圖像采集，并大幅縮短數(shù)據(jù)獲取時間

2）分析微流體器件的底部通道，通過 Vision64 的多個區(qū)域直接提取