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- 公司名稱 合肥真萍電子科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 合肥市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/10/29 19:27:17
- 訪問次數(shù) 55
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應(yīng)用介紹: 主要應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體,金屬電極,互聯(lián)線是用金屬剝離工藝,使光刻膠呈現(xiàn)倒梯形形貌,正常采用負(fù)膠工藝實(shí)現(xiàn),因負(fù)膠有一定工藝難度和局部缺陷,例如分辨率不高,線寬均一性不好,倒梯形角度不穩(wěn)定等因素。行業(yè)內(nèi)大多采用氨氣條件反轉(zhuǎn)工藝,使用酚醛樹脂基的正膠,正膠曝光后會(huì)產(chǎn)生羧酸,氨氣中和酸,再進(jìn)行一次全面曝光,顯影后就可以形成倒梯形形貌,同時(shí)又保留正膠的分辨率和線寬穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | NH3D4 |
內(nèi)膽尺寸 | 450*450*450mm; |
真空度 | 150Pa;采用真空泵; |
加熱方式 | 腔體外側(cè)四周加熱; |
溫度 | RT+10℃~ 200℃;微電腦溫度控制器,控溫精確可靠; |
控溫精度 | ±2%℃(150℃內(nèi)); |
氨氣反轉(zhuǎn)工藝 | 升溫達(dá)到設(shè)定值-抽真空-達(dá)到設(shè)定值-充氨氣-取產(chǎn)品-取后曝光機(jī)反面曝光。 |
主要特點(diǎn) | 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。工作室采用不銹鋼板制成,電解拋光,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。 |
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