量參數(shù)（um）

Ra、Rz、Rq、Rt

測量范圍（um）

Ra/Rq： 0.05~10.0             Rz/Rt：0.1~50

取樣長度（mm）

0.25，0.80，2.50

評定長度（mm）

1.25，4.0，5.0

行程長度（mm）

6

示值精度（um）

0.01

示值誤差

±（7-10）%

示值變動性

＜12%

傳感器觸針針尖圓弧半徑及角度

針尖圓弧半徑：10 μm±1 μm

傳感器觸針靜測力及其變化率

觸針靜測力：≤ 0.016N          測力變化率：≤ 800N/m

傳感器導(dǎo)頭壓力

≤ 0.5N

電池

3.7V鋰離子電池

外形尺寸及重量

106 mm×70 mm×24 mm      200g

工作環(huán)境條件 溫度：

-20℃～40℃    相對濕度：<   90%     周圍無振動、無腐蝕性介質(zhì)