誠(chéng)立-專業(yè)生產(chǎn)銷售工業(yè)長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x器設(shè)備，標(biāo)準(zhǔn)機(jī)采用分辨率0.0001mm貼片光柵尺，P級(jí)導(dǎo)軌、研磨絲桿，松下伺服電機(jī)，視帝軟件、控制器等配件而精心打造的二次元影像測(cè)量一體機(jī)，為您的產(chǎn)品尺寸測(cè)量把控每1um。

性能特點(diǎn)

用途 　

SMU210系列為型FPD檢查顯微鏡，專為L(zhǎng)CD行業(yè)/ TFT玻璃/ COG導(dǎo)電粒子壓痕、粒子爆破檢查　SMU210系列機(jī)型采用4寸、6寸平臺(tái)設(shè)計(jì)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查特點(diǎn)　SMU210系列，其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美　SMU210系列機(jī)型采用全新設(shè)計(jì)的長(zhǎng)工作距物鏡、半復(fù)消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長(zhǎng)壽命LED光源多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗(yàn)需要，可用于明場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察 




技術(shù)參數(shù)

配  置	參    數(shù)
型  號(hào)	WX40		WX40（透反）
光學(xué)系統(tǒng)	無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
觀察方法	明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC		明場(chǎng)/斜照明/偏振光/DIC/透射光
觀 察 筒	30°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或50：50
目  鏡	PL10X/22平場(chǎng)高眼點(diǎn)目鏡
轉(zhuǎn) 換 器	5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽
物  鏡	無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)金相物鏡5X   LMPL5X /0.13     WD10.8mm
	無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)金相物鏡10X  LMPL10X /0.25    WD10mm
	無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)金相物鏡20X  LMPL20X /0.4     WD4mm
	無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X  LMPLFL50X /0.6  WD7.9mm
	無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡100X  LMPLFL100X /0.80   WD2.1mm （選配）
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出
載 物 臺(tái)	4英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺(tái)面積230X215mm,移動(dòng)范圍：105X105mm,含金屬載物臺(tái)板，右手位X、Y移動(dòng)手輪，配平臺(tái)接口			4英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái),低手們粗微同軸調(diào)節(jié),平臺(tái)面積230X215mm,移動(dòng)范圍：105X105mm,含玻璃載物臺(tái)板，右手位X、Y移動(dòng)手輪，配平臺(tái)接口
顯微鏡鏡體	粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出			粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機(jī)構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，雙路電源輸出
反射照明系統(tǒng)	帶可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿。單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)
偏光附件	檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路
CTV接口	1X（標(biāo)配）、1/2X（選配）
透射照明系統(tǒng)	/	單顆大功率5W LED，白色，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌