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電化學遷移評價系統(tǒng)? 絕緣材料評估

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電化學遷移評價系統(tǒng)? 絕緣材料評估是一種用于評估材料在電化學遷移(ECM)條件下的性能的設備。該系統(tǒng)能夠模擬電化學遷移的環(huán)境條件,對樣品施加電壓并監(jiān)測其電化學遷移行為,從而評估材料的耐電化學遷移性能和絕緣電阻。

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電化學遷移評價系統(tǒng)? 絕緣材料評估

  電化學遷移評價系統(tǒng)? 絕緣材料評估是一種用于評估材料在電化學遷移(ECM)條件下的性能的設備。該系統(tǒng)能夠模擬電化學遷移的環(huán)境條件,對樣品施加電壓并監(jiān)測其電化學遷移行為,從而評估材料的耐電化學遷移性能和絕緣電阻。

隨著半導體器件小型化的進展,在過于苛刻的條件下評估電遷移變得至關重要。電遷移評估系統(tǒng)提供基于溫度和電流應力(影響器械使用壽命的兩個主要因素)的準確測量以及用于確定判斷器械壽命所需參數(shù)的分析軟件。電化學遷移評價系統(tǒng)旨在滿足廣泛的評估需求,從前沿評估到生產(chǎn)管理,提供增強的可操作性、優(yōu)異的可靠性和簡化的數(shù)據(jù)分析。

電化學遷移評價系統(tǒng)? 絕緣材料評估


性能

240通道評價試驗 在單個櫥柜中的3個烤箱

2個通道 (DUT) = 1個插座

5個插座 = 1個 DUT 板

8個 DUT 板 = 1個烤箱

3個烘箱 = 1個柜

在單個烤箱中最多可測試80個通道或DUT,使每個機柜有240個通道。然而,主機 PC 可以控制多達1200個通道或5個滿載機柜。

高精度溫度 控制在350°C以下

該烘箱能夠檢測高達350℃的溫度,并在300℃下提±3.5℃的高度準確溫度分布。每個烘箱均配有獨立的控制器,用于單獨的溫度設置。

當前應力應用至200 mA

能夠施加0.1 mA至 200 mA 之間的應力電流。

高度可靠的雙重接觸 板結(jié)構(gòu)

DUT 板和插座連接具有雙觸點結(jié)構(gòu),以實現(xiàn)更強的固定。該結(jié)構(gòu)設計確保在高溫下進行長期評價的可靠性更高。

*350°C的標準模型插座(300 mil和600 mil)。也可提供250℃型號(僅600 mil)(可選)。

連接板

引腳分配亂序功能使得即使使用具有不同引腳布局的 DUT 也可以評估 ESPEC DUT 板。

四種試驗模式

能夠在強制降解溫度和電流下通過測量電阻進行四種不同的檢測:電遷移、強制降解遷移、溫度特性 (TCR) 和擠壓。

電化學遷移評價系統(tǒng)? 絕緣材料評估







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