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- 公司名稱 武漢迪凱光電科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 武漢市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2025/1/31 7:10:16
- 訪問次數(shù) 1
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主要應(yīng)用:半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的溫度測量如:RTA、RTP、CVD等工藝。
RTP紅外測溫儀特點
兩種光學(xué)采集系統(tǒng)可供選擇: 光導(dǎo)型、透鏡型
光導(dǎo)型的優(yōu)點:直徑小,僅通過很小的通光孔徑,能夠從大視場角度收集輻射能量,采集到極限低溫信號。
透鏡型:適合遠(yuǎn)距離測量小目標(biāo)或透過觀察窗測量目標(biāo)溫度。
短波長實現(xiàn)低溫目標(biāo)溫度測量
嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的設(shè)計、可實現(xiàn)10 -13 A的信號的放大;實現(xiàn)短波長測量低溫目標(biāo)的能力;短波長顯著降低發(fā)射率造成的測量誤差,是許多應(yīng)用的理想選擇,如半導(dǎo)體工業(yè)中硅片的溫度測量。
溫度分辨可達(dá)0.01℃
嚴(yán)謹(jǐn)?shù)碾娐吩O(shè)計使得電噪聲更小,可實現(xiàn)低溫目標(biāo)的準(zhǔn)確測量。高溫度分辨力使得溫度控制過程更加平穩(wěn)。
測量速度高達(dá)1Khz(1ms)
該系列測溫儀可以提供每分鐘一個讀數(shù)直至每秒1000個讀數(shù),客戶可按需選擇。此外,測溫儀執(zhí)行所有內(nèi)部的A/D轉(zhuǎn)換,每臺儀器提供一個數(shù)字信號輸出。
寬范圍的溫度測量能力
高精的電子元器件及光路設(shè)計使得測溫儀測溫范圍更寬,可以實現(xiàn)從室溫(25℃)到4000℃ 的高溫測量。
低漂移
的元器件選擇和設(shè)計有效減少電子器件中的漂移,測溫儀實現(xiàn)溫漂不高于 0.1 ºC / 年。
精巧易安裝,不再依賴光纖
小尺寸、高性能使得測溫儀能夠在離熱源足 夠近的地方測溫,且不再需要長柔性光纖元件。在需要光纖的應(yīng)用中, 迪凱的產(chǎn)品仍然具有顯著優(yōu)勢,可提供全系列柔性石英光纖,以滿足不同使用現(xiàn)場需求。
基本參數(shù)
測量溫度范圍 100-1300℃
測量精度:±1.5℃/0.15%讀數(shù)
重復(fù)精度:±0.10℃
分辨率: 0.01℃
響應(yīng)時間:1ms
通光孔徑: 2mm(其它可選)
電氣參數(shù)
數(shù)字輸出:RS422
模擬輸出:無
操作參數(shù)及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
防護(hù)等級:IP65
工作溫度:10-60℃
存儲溫度:-20-70℃
相對濕度:10-95%,無結(jié)露
抗擾標(biāo)準(zhǔn):JB/T9233.11-1999
抗沖擊: GB/T2423.1,GB/T2423.2
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