LEXT OLS4100 3D測(cè)量激光顯微鏡詳細(xì)介紹：
的測(cè)量 更大的樣品范圍
輕松檢測(cè)85° 尖銳角
有尖銳角的樣品（剃刀） | 采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4100 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測(cè)量。 |
LEXT 物鏡 | 
使用物鏡時(shí)的zui小象差 |
高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓
(MPLAPON50XLEXT)
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類(lèi)型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度測(cè)量中的檢測(cè) | 由于采用405 nm 的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡，OLS4100 達(dá)到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法，例如奧林巴斯開(kāi)創(chuàng)的I-Z 曲線(xiàn)（請(qǐng)參閱第23 頁(yè)），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。 |
克服反射率的差異
鉆石電鍍工具
物鏡：MPLAPON50XLEXT | OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng)，結(jié)合高靈敏度的探測(cè)器，那些具有不同反射率材料的樣品，也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。 |
適用于透明層
多層模式
LEXT OLS4500全新的多層模式則可以識(shí)別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品上表面的觀察和測(cè)量，而且也可以對(duì)多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測(cè)量。
觀察／測(cè)量透明材料的各個(gè)層
多層模式可實(shí)現(xiàn)對(duì)透明樣品的頂部的透明層進(jìn)行觀察和測(cè)量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹(shù)脂層，也可測(cè)量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
工業(yè)領(lǐng)域** 的兩項(xiàng)性能保證 正確性和重復(fù)性
 | 通常表示測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度的，有2 個(gè)指標(biāo)："正確性"，即測(cè)量值與真正值的接近程度，和"重復(fù)性"，即多次測(cè)量值的偏差程度。OLS4100 是業(yè)界*同時(shí)保證了"正確性"和"重復(fù)性"的激光掃描顯微鏡。 |
追溯體系
 | OLS4100 從物鏡制造到成品全部在奧林巴斯工廠內(nèi)完成，并按照一系列嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行全面的檢驗(yàn)并確保產(chǎn)品的質(zhì)量后方才出廠 。交付產(chǎn)品時(shí)，由選拔出來(lái)的技術(shù)人員，在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行校正和zui后的調(diào)整。 |
更多的測(cè)量類(lèi)型
高度測(cè)量
可以測(cè)量輪廓截面上任意兩點(diǎn)之間的高低差異。
輪廓測(cè)量也同樣可用 | 表面粗糙度測(cè)量
可以測(cè)量線(xiàn)粗糙度，以及平面整體的面粗糙度。 |
面積／體積測(cè)量
根據(jù)設(shè)置在輪廓截面上的任意閾值，可以測(cè)量其上部或下部的體積。 | 粒子測(cè)量 (選購(gòu)件)
可以通過(guò)分離功能使粒子自動(dòng)分離，設(shè)置閾值，根據(jù)ROI 設(shè)置檢測(cè)范圍。 |
幾何測(cè)量
可以測(cè)量影像上任意兩點(diǎn)之間的距離。還可以測(cè)量
任意區(qū)域的面積。 | 膜厚測(cè)量 (選購(gòu)件)
可以根據(jù)測(cè)出的對(duì)焦位置，測(cè)量透明介質(zhì)的膜厚。 |
自動(dòng)尋邊測(cè)量 (選購(gòu)件)
可以自動(dòng)尋邊，測(cè)量線(xiàn)寬和圓，減少人為的測(cè)量誤差。
OLYMPUS Stream (選購(gòu)件)
工作流程解決方案，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)秀的圖像分析性能
對(duì)于粒子尺寸分析或非金屬夾雜物級(jí)別的測(cè)量，可以使用OLYMPUS Stream 顯微圖像軟件，該軟件可以從OLS4100 直接上傳。
更精準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量
LEXT OLS4100 參數(shù)
作為表面粗糙度測(cè)量的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開(kāi)發(fā)了LEXT OLS4100。對(duì)LEXT OLS4100 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4100 上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶(hù)來(lái)說(shuō)，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線(xiàn)距離zui長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測(cè)量結(jié)果。
| 截面曲線(xiàn) | Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr |
| 粗糙度曲線(xiàn) | Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75 |
| 波動(dòng)曲線(xiàn) | Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr |
| 負(fù)荷曲線(xiàn) | Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2 |
| 基本圖形 | R, Rx, AR, W, , AW, Wte |
| 粗糙度 (JIS1994) | Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp |
| 其他 | R3z, P3z, PeakCount |
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度（3D）參數(shù)。通過(guò)評(píng)估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。
| 振幅參數(shù) | Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa |
| 功能參數(shù) | Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp |
| 體積參數(shù) | Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc |
| 橫向參數(shù) | Sal, Str |
• LEXT OLS4100 與表面粗糙度測(cè)量?jī)x的結(jié)果相兼容。
微細(xì)粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，無(wú)法測(cè)量比探針的針尖直徑更細(xì)微的表面輪廓。而OLS4100 有著微小的激光光斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測(cè)量。
非接觸式測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量柔軟的樣品時(shí)，樣品容易受到探針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會(huì)粘在探針上，無(wú)法得到正確的測(cè)量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡OLS4100，不會(huì)影響樣品的表面狀態(tài)，可以準(zhǔn)確的測(cè)量樣品
的表面粗糙度。
高分子薄膜3D 影像（上）和粗
糙度測(cè)量結(jié)果（左） |  |
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品 微米級(jí)特征的測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，其探針無(wú)法進(jìn)入微米級(jí)的區(qū)域，所以不能對(duì)這些區(qū)域的特征進(jìn)行測(cè)量。而OLS4100 可以正確定位，能輕松測(cè)量出特定微小區(qū)域的粗糙度。
焊線(xiàn) |  |
高畫(huà)質(zhì)影像 清晰鮮明的3D 彩色影像
三種類(lèi)型的綜合影像
真彩3D 影像 | LEXT OLS4100 可以同時(shí)獲取三種不同類(lèi)型的影像信息：真彩3D 影像、激光全焦點(diǎn)3D 影像和高度信息影像。 |
激光全焦點(diǎn)3D 影像 | 
高度信息影像 |
再現(xiàn)自然色
OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相裝置以生成清晰、色彩自然的影像，所得影像可以與高級(jí)的光學(xué)顯微鏡相媲美。
2D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x） | 
3D 彩色影像（紙張上的墨點(diǎn)、物鏡20x） |
更加真實(shí)地再現(xiàn)表面, 激光DIC（激光微分干涉）
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小表面輪廓的觀察方法。LEXT OLS4100 通過(guò)安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線(xiàn)來(lái)照射樣品。獲取由樣品直接反射回來(lái)的兩束光線(xiàn)的差，生成明暗對(duì)比，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXTOLS4100 擁有DIC 激光模式，即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
無(wú)DIC 的激光影像（高分子薄膜） | 
有DIC 的激光影像（高分子薄膜） |
無(wú)DIC 的激光影像（5x 物鏡）
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類(lèi)型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany | 
有DIC 的激光影像（5x 物鏡）
高度差標(biāo)準(zhǔn) 類(lèi)型 B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 實(shí)際高度：6 nm |
亮度和對(duì)比度之間更加優(yōu)化的平衡, HDR（高動(dòng)態(tài)范圍）影像
OLS4100 的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）功能結(jié)合了多張以不同曝光率獲取的光學(xué)顯微鏡影像，并且分別控制著亮度、對(duì)比度、紋理和飽和度，因此HDR 可以以寬動(dòng)態(tài)范圍處理影像。OLS4100 尤其可以對(duì)紋理不明顯的樣品的彩色影像進(jìn)行清晰地觀察。
無(wú)HDR 的彩色影像
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x） | 
有HDR 的彩色影像
（致密的織物、物鏡20x、變焦1x） |
穩(wěn)定測(cè)量和成像環(huán)境
 復(fù)合減震機(jī)構(gòu) | 為了排除來(lái)自外部的影響，穩(wěn)定測(cè)量和成像，OLS4100 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"復(fù)合減震機(jī)構(gòu)"以穩(wěn)定操作環(huán)境。所以，可以把OLS4100 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè)，不需要的防震平臺(tái)。 |
直觀的GUI 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)化的工作流程 簡(jiǎn)易的三步流程
使用LEXT OLS4100，只需將樣品放置在載物臺(tái)上之后即可立即開(kāi)始觀察／測(cè)量。由于采用了簡(jiǎn)易的三步流程——成像、測(cè)量和報(bào)表——即使用戶(hù)不熟悉激光顯微鏡，也可以快速掌握測(cè)量的流程。
快速的宏觀圖拼接
 | 掃描大面積區(qū)域時(shí)有兩種拼接方法可用：獲取實(shí)時(shí)影像時(shí)的手動(dòng)模式和快速獲取影像時(shí)的自動(dòng)模式。操作非常快速簡(jiǎn)單——2D 拼接只需一鍵操作即可開(kāi)始，并且可立即獲得大面積的拼接影像。自動(dòng)模式下有五級(jí)拼接尺寸可用，分別為：3×3、5×5、7×7、9×9 和21×21。對(duì)于影像上不需要的部分，可以使用簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)或控制桿操作手動(dòng)刪除。 |
用于簡(jiǎn)易3D 成像的智能掃描
自動(dòng)3D 影像獲取
傳統(tǒng)的3D 掃描需要復(fù)雜的設(shè)置，這對(duì)新手來(lái)說(shuō)非常困難。LEXT OLS4100 采用了全新的智能掃描模式，即使是初次使用的用戶(hù)也只需一鍵操作即可快速獲取3D 影像。除了上下限的設(shè)置，系統(tǒng)也會(huì)根據(jù)要獲取的影像自動(dòng)設(shè)置合適的亮度。這讓即使是初次使用的用戶(hù)也能獲得精確的高度測(cè)量和優(yōu)質(zhì)的影像。
3D 成像
自動(dòng)亮度控制
大大縮短了獲取時(shí)間
更快的掃描速度
新的超快模式獲取掃描影像的速度是傳統(tǒng)快速模式的2 倍，約是精細(xì)模式的9 倍。因此，對(duì)于那些需要非常精細(xì)的Z 軸移動(dòng)和*的放大倍率的樣品，該模式就非常地適用，例如對(duì)*的*進(jìn)行檢測(cè)。
相同時(shí)間內(nèi)獲取的影像數(shù)量：
實(shí)際的掃描時(shí)間根據(jù)所用倍率和Z 獲取范圍而有所不同。
只在所需區(qū)域進(jìn)行高速獲取
OLS4100 還配備了帶寬掃描模式，用于測(cè)量有限的目標(biāo)區(qū)域，測(cè)量性能比傳統(tǒng)模式快1/8。
全局掃描獲取 | 
帶寬掃描獲?。?/8） |
全新的高速拼接模式
從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域
在宏觀圖中，要觀察的區(qū)域可以從大范圍的視圖中進(jìn)行。在自動(dòng)模式中，通過(guò)設(shè)置zui多625 幅影像的矩形拼接尺寸，可以自動(dòng)生成區(qū)域圖，所需的時(shí)間大約只需要通常的一半。下一步，在區(qū)域圖上所需的影像并立即開(kāi)始觀察。
拼接區(qū)域：方形（21×3）63 片 | 
拼接區(qū)域：圓形（3 點(diǎn)） |
手動(dòng)所需的影像區(qū)域
在實(shí)時(shí)模式中，通過(guò)在屏幕上跟蹤所需的區(qū)域，可以手動(dòng)選擇要觀察的區(qū)域。當(dāng)觀察的樣品具有不規(guī)則的形狀時(shí)，該功能非常實(shí)用。
快速影像拼接
要使用智能掃描模式獲取影像時(shí)，只需一鍵操作即可。由于智能掃描會(huì)自動(dòng)調(diào)整Z 軸方向的設(shè)置，Z 軸方向的影像獲取可以?xún)H局限在所需的區(qū)域，因此可以在進(jìn)行大范圍大功率觀察時(shí)節(jié)省很多時(shí)間。
智能掃描模式 | 
傳統(tǒng)獲取模式 |
一鍵操作定制報(bào)表
OLS4100 在測(cè)量后可使用一鍵操作創(chuàng)建報(bào)表，而且使用編輯功能可以定制各個(gè)報(bào)表模板。將測(cè)量結(jié)果復(fù)制和粘貼到Word 或表格應(yīng)用程序也非常簡(jiǎn)單，就像從數(shù)據(jù)庫(kù)取回所需的影像和報(bào)表一樣。
目標(biāo)的一鍵解決方案
為用戶(hù)設(shè)計(jì)的詳細(xì)的向?qū)Чδ苋∠巳唛L(zhǎng)的培訓(xùn)，讓新手也能快速簡(jiǎn)單地進(jìn)行操作。
此設(shè)備為專(zhuān)為在工業(yè)環(huán)境下實(shí)施檢測(cè)設(shè)計(jì)的A 類(lèi)設(shè)備。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會(huì)干擾其他設(shè)備。
