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TFMS-LD 反射光譜薄膜測(cè)厚儀

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TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測(cè)厚儀,可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度,其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm。此款測(cè)試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

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 TFMS-LD是一款反射光譜薄膜測(cè)厚儀,可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度,其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um,儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm。此款測(cè)試系統(tǒng)理論基礎(chǔ)為鏡面反射率,并且采用光纖反射探頭。儀器尺寸小巧,方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量膜厚范圍

15nm-50um

光譜波長(zhǎng)

400 nm - 1100 nm

主要測(cè)量透明或半透明薄膜厚度

  • 氧化物
  • 氮化物
  • 光刻膠
  • 半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅等)
  • 半導(dǎo)體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)
  • 硬涂層(碳化硅,類金剛石炭)
  • 聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
  • 金屬膜(點(diǎn)擊圖片可查看詳細(xì)資料)
  •   

特點(diǎn)

  • 測(cè)量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行,可測(cè)量單層膜,多層膜,無(wú)基底和非均勻膜
  • 包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù),新材料參數(shù)也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
  • 體積較小,方便擺放和操作
  • 可測(cè)量薄膜厚度,材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度
  • 使用電腦操作,界面中點(diǎn)擊,即可進(jìn)行測(cè)量和分析

精度

0.01nm或0.01%

準(zhǔn)確度

0.2%或1nm

穩(wěn)定性

0.02nm或0.02%

光斑尺寸

標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um

要求樣品大小

大于1mm

分光儀/檢測(cè)器

  • 400 - 1100 nm 波長(zhǎng)范圍
  • 光譜分辨率: < 1 nm
  • 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

光源

  • 5W的鎢鹵素?zé)?/span>
  • 色溫:2800K
  • 使用壽命:1000小時(shí)

反射探針

  • 光學(xué)纖維探針,400um纖維芯
  • 配有分光儀和光源支架

載樣臺(tái)

測(cè)量時(shí)用于放置測(cè)量的樣品
 

通訊接口

USB接口,方便與電腦對(duì)接

TFCompanion軟件

  • 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫(kù)包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)(n:折射率,K:消失系數(shù))
  • 誤差分析和模擬系統(tǒng),保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測(cè)量的準(zhǔn)確性
  • 可分析簡(jiǎn)單和復(fù)雜的膜系

設(shè)備尺寸

200x250x100mm

重量

4.5kg


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