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Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE 去除印刷電路板污染物

來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司   2023年01月05日 14:20  

某印刷電路板制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 應(yīng)用于刻蝕印刷電路板局部表面去除污染物.


Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 技術(shù)參數(shù)

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片

Φ5 inch X 10片

Φ6 inch X 8片

均勻性

±5%

硅片刻蝕率

20 nm/min

樣品臺(tái)

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源


Hakuto 離子刻蝕機(jī) 20IBE-J 搭配伯東公司代理美國考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)

RFICP 220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動(dòng)能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦, 平行, 散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000


Hakuto 離子蝕刻機(jī) 20IBE-J 有效針對(duì)所需區(qū)域進(jìn)行蝕刻, 并避免印刷電路板全面性蝕刻產(chǎn)生的導(dǎo)線暴露于空氣中發(fā)生的短路異常現(xiàn)象.


若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生



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