美國OAI成立至今已有35年歷史，在光源制造和測量方面一直處領(lǐng)域。
OAI光源以工作穩(wěn)定，出光效率高，高均勻性和散射角小著稱。且可提供20inch以上的大面積光源。 OAI光功率計在工業(yè)上有廣泛應(yīng)用，包括NIKON，CANON，ASM等光刻機制造商均使用OAI光功率計。
OAI也生產(chǎn)光刻機，尤其是OAI MODEL 800系列雙面曝光機，在世界范圍內(nèi)有著非常廣泛的應(yīng)用。
OAI MODEL 800MBA
雙面對準(zhǔn)曝光機
曝光模式 接近、軟/硬接觸、真空接觸
掩膜尺寸大9"x9"
大適合200mm晶圓曝光