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1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-HVC

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GSL-1700X-HVC是一款CE認(rèn)證的二通道高真空CVD系統(tǒng),它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,其工作溫度可達(dá)1600℃,極限真空度可達(dá) to 10^-5 torr?;鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

技術(shù)參數(shù)
GSL-1700X 系列管式爐殼體

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.

● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命

● 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失

● 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng)

● 儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組

爐管

● 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管

● 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

● (標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (54mm) x 1000mm Length

● (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (74mm) x 1000mm Length

功率6KW
工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz
加熱元件8 根1800°C grade MoSi2 heating element
工作溫度

● 工作溫度.: 1650°C

● 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率≤5°C/min
加熱區(qū)長度

● 加熱區(qū)長度: 457 mm (18")

● 恒溫區(qū)長度: 150 mm (6")(+/-1°C)注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會(huì)有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系

溫控系統(tǒng)

● 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序

● 控溫精度: ±1°C

● 控溫儀表操作視頻

● 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

真空法蘭

● 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

● 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表

● 兩個(gè)精密針閥

● 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口

● 一個(gè)1/4"卡套接頭

外形尺寸550 x 380 x 520mm
高真空機(jī)組功率100~110W
工作電壓AC 208-240V單相, 50/60Hz
外形尺寸600(L) x 600(W) x 700(H), mm
殼體

● 殼體尺寸:600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm

● 大承載量:600 Lbs on top

● 分子泵控制面板:LCD 數(shù)字顯示

● 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:

控制面板

● 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,分子泵自動(dòng)啟動(dòng))

● 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

1 1 1 1 1
抽氣速率

● N2 33 L/s

● He 39 L/s (2340L/minute)

● H2 32 L/s

工作范圍1000 mbar to <1E-7 mbar
極限<1E-8 mbar (without any leaking )
MFC 質(zhì)量流量控制器殼體

● 采用 316不銹鋼制作

● 混氣箱尺寸: Φ80X120mm

● 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

● MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

1
功率18W
工作電壓AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
質(zhì)保期一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件
質(zhì)量認(rèn)證● CE 認(rèn)證
● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證
● 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證
    


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