● 爐體設(shè)計為開啟式，以便于更換爐管

● 工作電源：208 - 240 VAC, 50/60Hz

● 大功率為：2KW

● 工作溫度：1200℃（<1hr)

● 連續(xù)工作溫度：1100℃

● 加熱區(qū)長度：200mm

● 恒溫區(qū)長度：60mm(+/-1℃ @ 1000 ℃ ) 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系

● 爐管：高純石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)（點擊圖片查看詳細資料）

● 采用PID30段程序化控溫，其控溫精度為+/-1℃

● 控溫儀表操作視頻

● 設(shè)有過熱和斷偶保護

● 熱電偶采用K型熱電偶

● 采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭，硅膠密封圈密封

● 法蘭上安裝有一機械壓力表

● 右端法蘭與一個真空不銹鋼波紋管連接（不銹鋼波紋管大伸縮幅度為150mm)

● 真空度：10-2Torr(用機械泵抽）10-5Torr(用分子泵抽）

● 一個直徑為1/4＂的歐米伽鎧裝熱電偶（K型），通過法蘭伸入到爐管中，并可隨坩堝移動，可實時監(jiān)測樣品的實際溫度

● 通過步進電機移動爐管內(nèi)的坩堝（樣品臺），大行程為100mm，移動精度為1mm

● 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標位置，坩堝移動速度為180mm/min(更精確的移動速度，可與本公司聯(lián)系定制，需額外收費）

● 可觀察下圖，了解坩堝與熱電偶的安裝方法

● 可選購手動擋板閥（圖1）

● 防腐型數(shù)顯真空計（圖4）

● 快速連接法蘭，以方便于放置樣品（圖2）

● 多路質(zhì)量流量計控制的混氣系統(tǒng)，用于CVD和DVD實驗（圖5）

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

● 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

● 此款設(shè)備可用于多種實驗，以下列出了幾種實驗方法

● RTE（快速熱蒸發(fā)）：蒸發(fā)料放在坩堝中，放入到爐體中心，基片放在樣品臺上，樣品臺與熱電偶相連接，然后將樣品臺移動到理想的位置（此位置溫度是實驗所需要的溫度）

● HPCVD（混合物理化學沉積）：與RTE相似，但需配混氣系統(tǒng)，對反應氣體混合并控制流量，同時也需設(shè)定蒸發(fā)料的位置（確定蒸發(fā)料的蒸發(fā)溫度）

● 水平布里奇曼（Bridgman）法來長晶體：將樣品和籽晶放入到坩堝中，并將坩堝放入到爐體中心位置，然后設(shè)定坩堝移動速度，慢慢移動坩堝