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坩堝(樣品臺)可移動型1200℃管式爐OTF-1200X-S-HPCVD

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 OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩堝可爐管內(nèi)移動(靠步進電機控制)的小型開啟式管式爐。爐管直徑為50mm,設(shè)備工作溫度為1200℃。
      設(shè)備特點:坩堝通過一步進電機控制爐管,按照設(shè)定程序移動,同時坩堝后端安裝一熱電偶(隨坩堝儀器移動),可實時監(jiān)測樣品的溫度,意味著可通過移動坩堝的位置,在爐體中準確找到實驗所需要的溫度,使得實驗準確度更高,重復性更強。此款設(shè)備可用于多種實驗,比如HPCVD(hybrid physical chemical deposition),快速熱蒸發(fā),也可用于水平布里奇曼(Bridgman)法來長晶體。

技術(shù)參數(shù)
高溫爐部分

● 爐體設(shè)計為開啟式,以便于更換爐管

● 工作電源:208 - 240 VAC, 50/60Hz

● 大功率為:2KW

● 工作溫度:1200℃(<1hr)

● 連續(xù)工作溫度:1100℃

● 加熱區(qū)長度:200mm

● 恒溫區(qū)長度:60mm(+/-1℃ @ 1000 ℃ ) 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系

● 爐管:高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)(點擊圖片查看詳細資料)

 
溫度控制系統(tǒng)

● 采用PID30段程序化控溫,其控溫精度為+/-1℃

● 控溫儀表操作視頻

● 設(shè)有過熱和斷偶保護

● 熱電偶采用K型熱電偶

 
真空密封

● 采用KF結(jié)構(gòu)密封法蘭,硅膠密封圈密封

● 法蘭上安裝有一機械壓力表

● 右端法蘭與一個真空不銹鋼波紋管連接(不銹鋼波紋管大伸縮幅度為150mm)

● 真空度:10-2Torr(用機械泵抽)10-5Torr(用分子泵抽)

坩堝移動機構(gòu)&PLC控制

● 一個直徑為1/4"的歐米伽鎧裝熱電偶(K型),通過法蘭伸入到爐管中,并可隨坩堝移動,可實時監(jiān)測樣品的實際溫度

● 通過步進電機移動爐管內(nèi)的坩堝(樣品臺),大行程為100mm,移動精度為1mm

● 通過觸摸屏設(shè)定坩堝一定的距離和目標位置,坩堝移動速度為180mm/min(更精確的移動速度,可與本公司聯(lián)系定制,需額外收費)

● 可觀察下圖,了解坩堝與熱電偶的安裝方法

 
大加熱速率和冷卻速率可通過移動樣品到已預加熱的爐體中來得到大的加熱速率,也可將樣品迅速移除高溫的爐體,來得到大的降溫速率
大加熱速率
10℃/sec (150℃ - 250℃);
7℃/sec (250℃ - 350℃);
4℃/sec (350℃ - 500℃);
3℃/sec (500℃ - 550℃);
2℃/sec (550℃ - 650℃);
1℃/sec (650℃ - 800℃);
0.5℃/sec (800℃ - 1000℃);
大降溫速率
10℃/sec (950℃ - 900℃);
7℃/sec (900℃ - 850℃);
4℃/sec (850℃ - 750℃);
2℃/sec (750℃ - 600℃);
1.5℃/sec (600℃ - 500℃);
1℃/sec (500℃ - 400℃);
0.5℃/sec (400℃ - 300℃);
可選配件

● 可選購手動擋板閥(圖1)

● 防腐型數(shù)顯真空計(圖4)

● 快速連接法蘭,以方便于放置樣品(圖2)

● 多路質(zhì)量流量計控制的混氣系統(tǒng),用于CVD和DVD實驗(圖5)

    
尺寸
質(zhì)保一年質(zhì)保期,終生維護(不含加熱元件、爐管和密封圈)
質(zhì)量認證● CE 認證
● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認證
● 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證
    
使用注意事項:

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

● 石英管的長時間使用溫度<1100℃

● 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

應用

● 此款設(shè)備可用于多種實驗,以下列出了幾種實驗方法

● RTE(快速熱蒸發(fā)):蒸發(fā)料放在坩堝中,放入到爐體中心,基片放在樣品臺上,樣品臺與熱電偶相連接,然后將樣品臺移動到理想的位置(此位置溫度是實驗所需要的溫度)

● HPCVD(混合物理化學沉積):與RTE相似,但需配混氣系統(tǒng),對反應氣體混合并控制流量,同時也需設(shè)定蒸發(fā)料的位置(確定蒸發(fā)料的蒸發(fā)溫度)

● 水平布里奇曼(Bridgman)法來長晶體:將樣品和籽晶放入到坩堝中,并將坩堝放入到爐體中心位置,然后設(shè)定坩堝移動速度,慢慢移動坩堝


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