產品型號

4路質子混氣管式PECVD系統(tǒng)

 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

2、輝光放電等離子體中電子密度可達109cm³-1012cm³。

3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

4、配有高精度數字顯示質量流量計，可準確地控制氣體流量。

5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

6、不銹鋼針閥安裝在左側部分，可手動控制混合氣體的輸入。

7、已通過CE認證。

技術參數

管式爐

1、電源：AC220V  4KW

2、爐管：Ø50mm，Ø60mm，Ø80mm都可用

3、溫度控制器：30段高精度數字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū)：440mm

5、恒溫區(qū)：150mm

等離子射頻電源

1、輸入功率：AC220V  1KW

2、輸出功率：50W-500W可調，±1%

3、RF頻率：13.56MHz

4、噪聲：≤55DB

5、冷卻：風冷

真空泵和質量流量計

1、真空度：10^-3torr

2、波紋管：KF25系列

3、質量流量計：0-200，誤差0.02%，進氣口采用標準雙卡頭

產品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

重量：120kg

可選配件

防腐型數字式真空顯示計