產(chǎn)品型號

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。

2、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。

4、采用PID控制器 ，可以設置30段升降溫程序。

5、已通過CE認證。

技術參數(shù)

管式爐

1、電源：單相AC 208V-240V   50Hz/60Hz  6KW

2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管，外徑Ø100mm，內(nèi)徑Ø92mm，長1000mm

3、加熱元件：1800℃硅鉬棒8根

4、加熱區(qū)域：457mm

5、恒溫區(qū)域：150mm

6、工作溫度：1650℃，連續(xù)工作1600℃

7、大升溫速率：≤5℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、熱電偶：B型

10、不銹鋼真空法蘭：1對

11、機械壓力表：1個

12、針閥：2個

13、連接器：KF-25，1個

14、抽氣接口：KF-25轉KF-40

15、卡套接頭：1/4″

高真空機組

1、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz  100W-110W

2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵

3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示

4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr

6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz   18W

2、功率：18W

3、混氣箱：Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，高真空機組600mm×600mm×700mm，

　　　質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm