德儀科技有限公司專(zhuān)業(yè)進(jìn)口美國(guó)磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)和脈沖激光真空薄膜沉積設(shè)備，以及磁控濺射源/電源、電子束蒸發(fā)源、濺射靶材和蒸發(fā)材料等。十幾年來(lái)，憑著的品質(zhì)，*的技術(shù)和周到的技術(shù)服務(wù)，德儀公司的產(chǎn)品為中國(guó)的高校、科研院所及企業(yè)的薄膜沉積工作提供了有力的支持。

• LOAD LOCK連接磁控濺射和電子束蒸發(fā)腔體
• 前開(kāi)門(mén)濺射腔體
• 多個(gè)磁控濺射源
• 前開(kāi)門(mén)電子束蒸發(fā)腔體
• 多坩堝位旋轉(zhuǎn)電子槍
• 冷凝泵和干泵
• zui大6”基片
• 基片旋轉(zhuǎn)
• 基片偏壓（可選）
• 基片加熱1000度（可選）
• 多達(dá)四路工藝氣體
• PID濺射壓力控制
• 系統(tǒng)手動(dòng)或自動(dòng)控制
• 良好的薄膜均勻性和重復(fù)性
• 可沉積金屬、半導(dǎo)體和絕緣材料
• 沉積多層膜及合金薄膜
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