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Transpector SPS 殘余氣體分析儀

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公司名稱 英?？担◤V州）真空儀器有限公司
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更新時(shí)間 2021/2/3 16:26:59
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

產(chǎn)品簡介

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好處

得益于單壓取樣入口，降低晶圓和面板保護(hù)的總擁有成本；是擴(kuò)散、外延和 RTP 等高壓過程的理想之選
提供低漏氣量和污染監(jiān)測，確保恒定高壓過程
通過強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷
通過定制配方優(yōu)化增強(qiáng)*生產(chǎn)能力
通過即時(shí)現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求

典型應(yīng)用

PVD 過程
擴(kuò)散和外延過程
蝕刻過程包括：金屬、電介質(zhì)、硅刻蝕,HDP-etch
CVD 過程包括：高 k 電介質(zhì)、HDP-CVD、LP-CVD、SA-CVD、CVD 低 k、PE-CVD

規(guī)格

類型		100 AMU SPS	200 AMU SPS	300 AMU SPS
分辨率		1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height	1 amu wide @ 10% peak height
總壓力范圍1		5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)	5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)	5E-7 to 1E-3 Torr (6.6E-7 to 1.3E-3 mbar)
總壓力精度2		±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar)	±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar)	±25% 1E-6 to 1E-3 Torr (1.3E-6 to 1.3E-3 mbar)
大離子源工作壓力3		1E-3 Torr (1.3E-3 mbar)	1E-3 Torr (1.3E-3 mbar)	1E-3 Torr (1.3E-3 mbar)
標(biāo)稱工作壓力?		2E-4 Torr (2.6E-4 mbar)	2E-4 Torr (2.6E-4 mbar)	2E-4 Torr (2.6E-4 mbar)
系統(tǒng)工作壓力（帶孔板/劈刀）		1E-4 Torr to 1.2 atmospheres	1E-4 Torr to 1.2 atmospheres	1E-4 Torr to 1.2 atmospheres
靈敏度（@ 低發(fā)射、FC 模式）		>4.0E-6 amps/Torr (>3E-6 amps/mbar)	>2.0E-6 amps/Torr (>1.5E-6 amps/mbar)	>1.0E-6 amps/Torr (>7.6E-7 amps/mbar)
靈敏度（@ 高發(fā)射、FC 模式）		>2.0E-5 amps/Torr (>1.5E-5 amps/mbar)	>1.0E-5 amps/Torr (>7.6E-6 amps/mbar)	>5.0E-6 amps/Torr (>3.8E-6 amps/mbar)
小可檢測分壓?		1.0E-13 Torr (1.3E-13 mbar)	2.0E-13 Torr (2.6E-13 mbar)	4.0E-13 Torr (5.3E-13 mbar)
大數(shù)據(jù)速率		1.8 ms per point	1.8 ms per point	1.8 ms per point
豐度靈敏度?		<5>	<10>	<100>
零沖擊?		<2>	<25>	<200>
檢測限值?		<1>	<2>	<4>
小背景壓力		<1.0e-8 torr=""><1.3e-8>	<1.0e-8 torr=""><1.3e-8>	<1.0e-8 torr=""><1.3e-8>
大傳感器和進(jìn)氣溫度	°C	150	150	150