布魯克納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng)
納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，加速納米力學(xué)研究進(jìn)入更高階段。
布魯克的海思創(chuàng)TI 980 TriboIndenter同時(shí)具有高的性能、靈活性、可信度、實(shí)用性和速度?；诤Ｋ紕?chuàng)幾十年的技術(shù)創(chuàng)新，它為納米力學(xué)表征帶來(lái)了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980達(dá)到了一臺(tái)優(yōu)異納米力學(xué)測(cè)試儀器所需的所有要求，實(shí)現(xiàn)了控制上突出的先進(jìn)性和高效性，試驗(yàn)上的靈活度與可實(shí)現(xiàn)性，測(cè)量穩(wěn)定性，以及系統(tǒng)設(shè)計(jì)的模塊化。
先進(jìn)的Performech® II控制模塊和電子設(shè)計(jì)
高速閉環(huán)的噪音控制
集成的帶輸入/輸出信號(hào)的多參數(shù)控制五百倍于前代產(chǎn)品的力學(xué)測(cè)試速度
多維度測(cè)量耦合
充分優(yōu)化各個(gè)傳感器的特質(zhì)適用不同測(cè)量需要，通過(guò)多維傳感器的選擇實(shí)現(xiàn)
不同測(cè)量間的無(wú)縫耦合多種有效的測(cè)試模塊配置，包括納米/微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、高分辨原位掃描探針顯微鏡成像、動(dòng)態(tài)納米壓痕和高速力學(xué)性能成像等。
豐富的系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析軟件
TriboScan(TM) 10提供了創(chuàng)新性的控制功能，包括XPM超快納米壓痕，SPM+原位掃描探針顯微鏡成像，動(dòng)態(tài)表面搜索，全自動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)和創(chuàng)新的測(cè)試程序。
Tribo iQ (TM)提供了強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理、分析和畫(huà)圖功能，并具有可編程數(shù)據(jù)分析模塊和自動(dòng)生成的定制測(cè)試報(bào)告功能。
靈活性和具有前瞻性的表征潛質(zhì)
布魯克納米壓痕儀Ti 980提供了多級(jí)別的防護(hù)罩提供了*環(huán)境隔絕能力，并具有用于將來(lái)的升級(jí)可擴(kuò)展接口萬(wàn)能樣品臺(tái)提供了機(jī)械、磁性和真空固定方式，適用于各種樣品。
布魯克納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng)
始終處于材料研究和開(kāi)發(fā)的前沿
海思創(chuàng)從1992年起就處于納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征的位置。通過(guò)與研究人員和工程師的持續(xù)合作，布魯克理解您的*需求，通過(guò)創(chuàng)新的技術(shù)幫助您解決當(dāng)下和將來(lái)面臨的材料挑戰(zhàn)。海思創(chuàng)TI 980 TriboIndenter是這些努力的集大成者。它提供了好的性能，能滿足您持續(xù)更新的材料表征需求。
簡(jiǎn)潔、高速的自動(dòng)控制——系統(tǒng)自動(dòng)校正使得每次測(cè)試都無(wú)懈可擊
針尖面積函數(shù)自動(dòng)校正
傳感器自動(dòng)校正
壓針和光學(xué)系統(tǒng)校正
自動(dòng)測(cè)試程序
快速、多樣品自動(dòng)測(cè)試功能實(shí)現(xiàn)高通量表征
智能化自動(dòng)程序確保用戶選擇合適的針尖
高分辨多尺度成像結(jié)合全尺寸樣品的光學(xué)搜索，簡(jiǎn)化測(cè)試流程
噪音水平，實(shí)現(xiàn)真正納米尺度表征
從微米到幾個(gè)納米的多尺度測(cè)量納牛級(jí)別的力噪音水平和小于90%原子直徑的位移測(cè)量能力，實(shí)現(xiàn)幾乎任何材料的定量表征
系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)超過(guò)6個(gè)數(shù)量級(jí)的力測(cè)量和10個(gè)數(shù)量級(jí)的位移測(cè)量
力和位移噪音水平保證在客戶現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)實(shí)現(xiàn)
快的反饋控制速率
布魯克納米壓痕儀Ti 980準(zhǔn)確控制測(cè)試過(guò)程實(shí)現(xiàn)大精度、可信度和重復(fù)性的真正定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征特殊的力和位移反饋控制方法用于海思創(chuàng)的傳感器-專門針對(duì)海思創(chuàng)傳感器物理特性開(kāi)發(fā)的力與位移反饋控制算法每隔0.013毫秒實(shí)現(xiàn)一次完整反饋控制，使得系統(tǒng)能測(cè)量快速瞬態(tài)過(guò)程，并對(duì)其作出反饋，真正實(shí)現(xiàn)用戶的測(cè)試意圖-每隔0.013毫秒實(shí)現(xiàn)一次完整的感知-分析-控制的循環(huán)，使得系統(tǒng)能對(duì)瞬態(tài)過(guò)程進(jìn)行測(cè)量與反饋，以此重現(xiàn)用戶定義的測(cè)試方式
強(qiáng)大的測(cè)試模塊配置，優(yōu)化您的表征潛能
自下而上的先進(jìn)設(shè)計(jì)提供了世界 xian jin的納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)
實(shí)現(xiàn)豐富的潛在測(cè)試能力
Performech® II高級(jí)控制模塊
準(zhǔn)確控制納米力學(xué)測(cè)試過(guò)程
力和位移噪音水平實(shí)現(xiàn)測(cè)量精度和重復(fù)性超快反饋控制算法提供整個(gè)測(cè)試過(guò)程的準(zhǔn)確控制專為各種不同測(cè)試而開(kāi)發(fā)的一整套高性能傳感器
多達(dá)24個(gè)通道的數(shù)據(jù)采集能力，每個(gè)通道都能同時(shí)達(dá)到1.2MHz采樣率
多個(gè)測(cè)試頭的耦合——一整套傳感器適用于各種測(cè)試任務(wù)
任意兩個(gè)測(cè)頭之間無(wú)縫連接
標(biāo)配二維傳感器和nanoDMA III傳感器實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的多種測(cè)試功能和高性能
多種有效的測(cè)試模塊配置
納米壓痕：硬度，模量，蠕變，應(yīng)力弛豫，斷裂韌性、高速力學(xué)性能成像
納米摩擦：薄膜結(jié)合力，摩擦系數(shù)，抗劃擦性能，磨損
掃描探針顯微鏡成像：形貌和梯度成像，納米級(jí)別定位精度，摩擦
力成像動(dòng)態(tài)納米壓痕：隨著深度連續(xù)測(cè)量硬度和模量，存儲(chǔ)模量，損失模量，損耗角正切
布魯克納米壓痕儀Ti 980
nanoDMA III：動(dòng)態(tài)納米壓痕
布魯克的nanoDMA III是強(qiáng)大的動(dòng)態(tài)納米壓痕技術(shù)。它提供了彈/塑性和粘彈性隨著壓入深度、頻率和時(shí)間的變化關(guān)系。
全面表征各種材料的普適性方法，從較軟的聚合物到硬質(zhì)鍍層都能適用；
集成直流和交流調(diào)制使得從初始接觸點(diǎn)開(kāi)始就能實(shí)現(xiàn)納米尺度動(dòng)態(tài)性能的可靠、定量表征；
原位參考頻率法校正溫漂使得長(zhǎng)時(shí)間測(cè)試的精度大大提高。
XPM：快速力學(xué)性能成像
不論是測(cè)量分辨率和精度，還是測(cè)量速度，XPM都是納米力學(xué)測(cè)試的業(yè)界新*。有了XPM，原來(lái)可能需要一整年才能獲得的數(shù)據(jù)，現(xiàn)在只需要一個(gè)下午就能獲得。這些性能是通過(guò)以下三個(gè)業(yè)界的技術(shù)實(shí)現(xiàn)的。1）高帶寬靜電激勵(lì)傳感器；2）快速控制和數(shù)據(jù)采集電子系統(tǒng)；3）自上而下的原位掃描探針顯微鏡成像。這些技術(shù)聯(lián)用能實(shí)現(xiàn)每秒六次納米壓痕測(cè)試，從而獲得全面的定量納米力學(xué)性能圖譜以及性能分布的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
更少時(shí)間測(cè)量更多參數(shù)
超高速定量力學(xué)性能測(cè)量（每秒6次測(cè)量）快速、高分辨空間硬度和模量分布統(tǒng)計(jì)一分鐘內(nèi)可靠完成針尖函數(shù)自動(dòng)校正；比傳統(tǒng)納米壓痕測(cè)試快500倍的數(shù)據(jù)采集速率 xSol 環(huán)境控制腔及載臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)非常不好的環(huán)境條件下高通量測(cè)量。
SPM+實(shí)現(xiàn)納米力學(xué)測(cè)試前后的準(zhǔn)確原位成像
布魯克的掃描納米壓痕技術(shù)使用同一根探針實(shí)現(xiàn)樣品表面形貌成像和納米壓痕測(cè)試。這種方法實(shí)現(xiàn)了高的定位精度，并且可以在納米壓痕測(cè)試后立即對(duì)樣品塑性形變進(jìn)行成像，加快測(cè)試速度。
高定位精度（+/-10nm）——可以從64x64到4096x4096范圍內(nèi)設(shè)定掃描分辨率，可以對(duì)各種高長(zhǎng)寬比的特征形貌進(jìn)行不同X-Y分辨率成像，納米力學(xué)性能成像分辨率和調(diào)色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol環(huán)境控制腔等聯(lián)用
強(qiáng)大的系統(tǒng)控制和分析
TriboScan 10：強(qiáng)大的測(cè)試靈活性提供了無(wú)限的測(cè)試可能性
將布魯克納米壓痕全套測(cè)試技術(shù)集成到一個(gè)直觀的軟件內(nèi)，基于標(biāo)簽頁(yè)架構(gòu)的軟件設(shè)計(jì)使得用戶可以方便的使用軟件功能，靈活的測(cè)試過(guò)程分段定義方法提供了適用于所有測(cè)試模式的優(yōu)異控制
TriboIQ: 可編程數(shù)據(jù)分析程序
易用的操作界面，從簡(jiǎn)單到復(fù)雜的可定制數(shù)據(jù)分析包直觀的數(shù)據(jù)組織和分析流程，簡(jiǎn)單點(diǎn)擊即可生成數(shù)據(jù)報(bào)告直觀可自定義的數(shù)據(jù)處理和分析模塊開(kāi)放式架構(gòu)使得多用戶合作更加容易
海思創(chuàng)TI980升級(jí)選項(xiàng)
xSol環(huán)境控制腔與載臺(tái) | 環(huán)境控制腔實(shí)現(xiàn)了定量納米力學(xué)性能和納米摩擦學(xué)特征隨著溫度、氣氛和濕度的變化。 |
nanoECR | 納米壓痕測(cè)試的原位導(dǎo)電特性可以和納米力學(xué)性能，材料形變行為和接觸電阻等同步研究。 |
xProbe | 基于MEMS傳感器的探針可以實(shí)現(xiàn)原子力顯微鏡級(jí)別的超低力和位移噪音水平。 |
iTF | 原位薄膜力學(xué)性能分析包提供了排除基底效應(yīng)影響的薄膜和多層膜結(jié)構(gòu)的定量 |
力學(xué)性能。 |
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3D OmniProbe和多量程 | 通過(guò)擴(kuò)展力和位移測(cè)量量程實(shí)現(xiàn)微米尺度的力學(xué)和摩擦學(xué)特性表征。 |
NanoProbe |
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同步拉曼光譜 | 原位研究力學(xué)性能和摩擦學(xué)特性與材料結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的相關(guān)性。 |
模量成像 | 動(dòng)態(tài)掃描納米壓痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。 |
熒光顯微鏡聯(lián)用 | 集成熒光顯微鏡可實(shí)現(xiàn)熒光共定位納米力學(xué)測(cè)試等。 |
電化學(xué)模塊 | 實(shí)現(xiàn)氧化和還原環(huán)境下的原位定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)行為研究。 |
自動(dòng)探針更換模塊 | 按鈕操作的自動(dòng)探針更換模塊。 |
樣品臺(tái) | 多尺度的磁性、機(jī)械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測(cè)樣品，包括300mm晶圓。 |
TriboAE™ | 聲音傳感器能通過(guò)針尖原位監(jiān)測(cè)納米壓痕過(guò)程中的斷裂和形變產(chǎn)生的聲音信號(hào)。 |
TriboImage™ | 納米尺度劃痕/磨損的實(shí)時(shí)表征。
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