德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
EddyCus TF直列串聯(lián)措施層性能，如金屬層的厚度，片電阻，發(fā)射率，殘留水分或克在各種基材上的非接觸。
相關(guān)基材是玻璃、箔、紙、晶片、塑料或陶瓷。
監(jiān)測(cè)是通過測(cè)量或觸發(fā)事件來完成的，以便在快速移動(dòng)的涂層過程中獲得等距的結(jié)果。
監(jiān)測(cè)解決方案可以在大氣或真空條件下實(shí)施。使用渦流技術(shù)的過程受益于高采樣率。
可以使用客戶的軟件為過程控制系統(tǒng)提供測(cè)量結(jié)果。
此外 SURAGUS 還提供監(jiān)控軟件 EddyCus EC Control，可對(duì)計(jì)量數(shù)據(jù)進(jìn)行可視化、存儲(chǔ)和分析。
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測(cè)量?jī)x傳感器類型：
. EddyCus TF inline SR – 薄層電阻監(jiān)測(cè)(包括發(fā)射率)
. EddyCus TF inline MT – 金屬厚度監(jiān)測(cè)
. EddyCus TF inline RM – 電阻率和電導(dǎo)率監(jiān)測(cè)
. EddyCus TF inline HF – 殘留水分監(jiān)測(cè)
. EddyCus TF inline A – 薄層電阻和電各向異性監(jiān)測(cè)；
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)：
. 非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量
. 測(cè)量速度高達(dá) 1,000 次測(cè)量/秒。
. 固定式傳感器安裝或橫向傳感器安裝
. 每個(gè)系統(tǒng)集成 1 – 99 個(gè)監(jiān)控通道
. 在大氣或真空中進(jìn)行過程控制
. 在許多應(yīng)用中可以非?？拷暹吘夁M(jìn)行測(cè)量
. 在不斷變化的環(huán)境中通過溫度補(bǔ)償測(cè)量實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期穩(wěn)定性
. 到測(cè)試材料的大距離(例如 60 毫米/2.4 英寸的間隙)
. 覆蓋導(dǎo)電層或封裝基板的表征
. 眾多軟件集成分析統(tǒng)計(jì)功能
. 通過 EddyCus RampUp 軟件輕松設(shè)置，包括。系統(tǒng)校準(zhǔn)向?qū)?/span>
. 無磨損
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品應(yīng)用：
. 建筑玻璃(LowE)
. 包裝材料
. 顯示器和觸摸屏
. 光伏(薄膜和 c-Si)
. 鏡面鍍膜
. 電容器
. OLED 和 LED
. 智能玻璃
. 金屬層和晶圓金屬化
. 除冰和加熱
. 電池和燃料電池
. 涂布紙和導(dǎo)電紡織品
. 石墨烯層
. 抗菌涂料;
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測(cè)量?jī)x技術(shù)參數(shù)：
. 測(cè)量范圍
薄層電阻：0.1 mOhm/sq 到 1 kOhm/sq
金屬厚度：2 nm – 2 mm(取決于材料導(dǎo)電性)
電阻率：0.1 mOhm cm – 5 ohm cm
殘留水分(通過非接觸式介電常數(shù)測(cè)量在濕層中測(cè)量)
電各向異性：0.33 至 3(可根據(jù)要求提高)
相關(guān)屬性
克重：0.1 至 1,000 克/平方米
發(fā)射率：0.005 至 0.2
. 設(shè)置
內(nèi)聯(lián) R2R
內(nèi)聯(lián) S2S
集群工具
集成到處理區(qū)域
透射和反射設(shè)置
流程
沉積(PVD、ALD、(PE)CVD、電鍍、印刷、噴涂等)
燒蝕/結(jié)構(gòu)化(蝕刻、拋光、激光等)
摻雜/植入
回火/退火
干燥/加熱
傳感器外形尺寸(所有測(cè)量類型)
傳感器 S(多種選擇)
傳感器 S - 半真空(限真空)
傳感器 M
傳感器 XS
定制形式(多傳感器)
接口
TCP、UDP
Modbus
CSV、XML
模擬、數(shù)字
網(wǎng)
環(huán)境
大氣層
真空
ATEX
可應(yīng)要求提供高溫版本
接線設(shè)置
靠近傳感器位置的控制柜安裝
直接安裝工具安裝在傳感器位置附近
全傳感器集成硬件;
