德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品簡介：

EddyCus®TF映射2525個 系列高達(dá)樣本自動圖像特征，以非接觸模式250×250平方毫米(10×10英寸)。

在手動樣品定位時，設(shè)備會自動測量并顯示整個樣品區(qū)域的特性分布。

測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或每個樣本超過 50,000 個測量點(diǎn)的高空間測量分辨率之間進(jìn)行選擇。

由此產(chǎn)生的映射提供了對透明和非透明層或晶片和金屬板的均勻性和質(zhì)量的真實洞察。

臺式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對薄層電阻、金屬厚度或光學(xué)透明度進(jìn)行準(zhǔn)確成像。

德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀可選型號：

該設(shè)備平臺可用于不同的傳感器配置，包括用于電氣表征的渦流傳感器或用于光學(xué)表征的傳感器。測量配置的變體涉及以下選項。

. 薄層電阻成像 – TF 圖 2525SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]

. 金屬厚度成像 - TF map 2525MT [nm, µm, mm, mil]

. 電阻率和電導(dǎo)率成像 – TF 圖 2525RM [mOhm*cm, MS/m]

. 電各向異性成像 – TF 圖 2525a [MD/TD]

. 濕涂層厚度和殘留水分成像 - TF map 2525HF

德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

技術(shù)：非接觸渦流

通過多點(diǎn)映射成像

薄層均勻度控制

質(zhì)量控制、輸入和輸出控制

定位區(qū)域：300 mm x 270 mm

取樣面積：250 x 250 mm(可擴(kuò)展至280 x 280 mm)

推薦的樣品尺寸：1 英寸至 10 英寸或 25 至 250 毫米

測量：

薄層電阻：0.001 到 100 Ohm/sq(Ohm per square, Ohm/sq, OPS)

金屬層厚度：1 nm 至 2 mm(nm、µm、mm、mil)

各向異性：0.33 至 3 (MT/TD)

電阻率/電導(dǎo)率：(mOhm*cm, MS/m, %IACS)

非接觸

快速準(zhǔn)確的測量

導(dǎo)電薄膜的高分辨率映射

對zui大 250 x 250 毫米(10 x 10 英寸)的基板進(jìn)行成像

缺陷檢測和涂層分析

甚至隱藏和封裝的導(dǎo)電層的表征

各種軟件集成分析功能(例如薄層電阻分布、線掃描、單點(diǎn)分析)

測量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能;

德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀軟件和設(shè)備控制：

. 輕松設(shè)置測量

. 實時數(shù)據(jù)收集和分析

. 掃描和自動點(diǎn)測量模式，包括。測量近邊緣

. 眾多軟件集成分析功能(直方圖分析、標(biāo)準(zhǔn)偏差、線條輪廓、面積分析等)

. 用于系統(tǒng)文檔的用戶友好 PDF 報告(示例報告)

. 數(shù)據(jù)導(dǎo)出(如txt)

. 加載和重新分析數(shù)據(jù)集;